詳細摘要： 該PECVD（等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)）系統(tǒng)，有多路質(zhì)量流量計系統(tǒng)（進口流量計），真空機組（進口真空泵），PE射頻電源（進口射頻源），溫控系統(tǒng)等裝置構(gòu)成。使用PE...

詳細摘要： 等離子輝光滑軌PECVD系統(tǒng)1.爐內(nèi)溫度場的均勻分布2.可自行根據(jù)不同溫度曲線3.電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進口產(chǎn)品4.高性能、免維護

詳細摘要： 前端預(yù)熱雙溫區(qū)滑軌PECVD :1.工藝流程簡單。2.生長溫度更低。3.實現(xiàn)快速升溫和降溫。4.輝光均勻等效，均勻生長。