CVD氣相沉積爐

用途：

CVD氣相沉積爐用于燒結(jié)碳碳及碳陶復(fù)合材料產(chǎn)品.

主要配置：

1.立式爐體，雙層爐體結(jié)構(gòu)，水冷夾套設(shè)計(jì)。

2.爐膛內(nèi)由發(fā)熱元件，保溫層，測溫?zé)犭娕?，監(jiān)測熱電偶組成

3.發(fā)熱元件沿爐膛內(nèi)壁均勻布置，有利于加熱，溫度均勻性好

4.PLC加觸摸屏操作方式，有報(bào)警功能，自動(dòng)化程序高,安全可靠

主要技術(shù)參數(shù):

1.工作區(qū)：?1500X2000mm

2.高溫度：1550℃

3.工作溫度：1400℃

3.極限真空度：20Pa

4.加熱方式電阻加熱

5.工作氣氛氬氣及反應(yīng)氣體