RTP快速爐

1.升降溫速度快，升溫采用環(huán)形紅外短波加熱器，升溫速率可達(dá)200℃/s，降溫時通過將爐膛退出，實現(xiàn)對產(chǎn)品的快速降溫；
2.測溫采用精準(zhǔn)的S型金屬熱電偶直接測量產(chǎn)品表面，使加熱工件的溫度更加準(zhǔn)確；
3.控制數(shù)學(xué)控制數(shù)學(xué)模型采用的PID自學(xué)習(xí)模糊雙閉環(huán)控制模式，使控溫精度在快速升溫的恒溫狀態(tài)仍能保持在±3℃；
4.功能多樣化，既可以用于材料的快速升降溫退火，也可用于化學(xué)氣相沉積（CVD）法，在鎳或銅箔上制備石墨烯的制備。