低流量微型比例閥 VSO-Low Flow

特點：
? 操作壓力可以達(dá)到150 PSI，允許精確的低流量（0～500 sccm）控制，以提高儀器精度。
? 氦泄漏率測試僅為0.2 sccm，使用壽命高達(dá)1千萬次循環(huán)，保證了高重復(fù)性。
? 通過熱補償保持理想的流量。
? 所有閥經(jīng)過分析級清洗，并氧氣兼容。
? 系列化性能可追溯。
? 直流信號、脈寬調(diào)制信號的閉環(huán)反饋驅(qū)動，達(dá)到系統(tǒng)化的性能。
? 通過RoHS 認(rèn)證

典型應(yīng)用：
? 氣相色譜
? 質(zhì)譜分析
? 壓力和流量控制
? 質(zhì)量流量控制