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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品概述】
easyLIGHT系列光譜儀提供了在真空紫外光譜區(qū)域的像差校正波長(zhǎng)覆蓋。Based on a normal-incidence geometry，提供了光譜儀和單色儀功能。高效的定位系統(tǒng)可以使光柵繞其頂點(diǎn)旋轉(zhuǎn)，從而使出射狹縫處的波長(zhǎng)選擇精度小于0.1nm。入射和出射縫隙寬度可以通過(guò)測(cè)微螺釘或電動(dòng)電機(jī)（可選）設(shè)置在0.01 至4mm 的范圍內(nèi)。非磁性?xún)x器。支持客戶(hù)訂制
【產(chǎn)品特點(diǎn)】
easyLIGHT | maxLIGHT | maxLIGHT plus | |
平場(chǎng)掠入射光譜儀 | ● | ● | |
正入射光譜儀和單色儀 | ● | ||
靈活的檢測(cè)器選擇：X射線CCD或 MCP /光纖 | ● | ● | ● |
工作壓力<10-6mbar | ● | ● | ● |
可根據(jù)客戶(hù)要求定制 | ● | ● | ● |
無(wú)縫設(shè)計(jì) | ● | ● | |
閃耀光柵進(jìn)一步提高效率 | ● | ||
電動(dòng)閉環(huán)三維光柵定位 | ● | ||
手動(dòng)一維光柵定位 | ● | ||
電動(dòng)光柵旋轉(zhuǎn) | ● | ||
濾光片插入裝置 | O | ● | |
真空閥門(mén) | O | ● | |
入射和出射狹縫連續(xù)可變 | ● | O | O |
【產(chǎn)品規(guī)格參數(shù)】
XUV 光柵 | VUV 光柵 | |
波長(zhǎng)，nm | 可定制 | 100-300 |
操作模式 | 入射狹縫 | |
光源距離，m | 可調(diào) | |
色散，nm/mm | ≈2.5 | |
分辨率，nm | ＜0.1 | |
波長(zhǎng)精度，Nm | ＜0.05 | |
偏差角，° | 64 | |
焦距，mm | 200 | |
f/# | 4.2 | |
*其他配置（光譜范圍，狹縫操作，高分辨率等）可根據(jù)要求提供。
工作模式：
光柵效率
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