渦輪分子泵組

Hicube真空泵組產(chǎn)品優(yōu)點：

1. 渦輪分子泵和前級泵的結(jié)合，適合多種應用需求 

2. 模塊化設計原則輕松滿足客戶多種應用需求 

3. 各部件配合簡便，易于保養(yǎng)維修 

4. 集成的驅(qū)動系統(tǒng)，無需額外的控制系統(tǒng) 

5.“即插即用"-無需布線和安裝 

6. 結(jié)構(gòu)堅固，服務壽命長，可靠性高 

7. 意外斷電時，前級真空安全閥（可選.）可保護真空腔體免受返流影響 

8. 可以直接連接真空計

Hicube 真空泵組應用領域：

1.研發(fā) 2. 加速器 3. 分析和表面物理學 4. 真空工藝 5. 電子束焊接 6. 檢漏系統(tǒng)

Hicube 系列移動式真空泵組在業(yè)界設立了新的標準：系列的 HiPace 渦輪分子泵和根據(jù)客戶應用需求可選的前級泵系列結(jié)合。我們?yōu)槟峁┑?Classic 和 Pro 系列的 Hicube 真空泵組。真空泵組可選擇干泵或旋片泵作為前級泵，極限真空度可達 5×10^-10mbar。針對特別有限的空間要求，Hicube 真空泵組中還特別提供尺寸非常緊湊的 Hicube Eco 經(jīng)濟型泵組，其抽速范圍從 35 l/s 至 67 l/s。

Hicube Eco 系列

泵組尺寸

Hicube Classic  系列

靈活搭配

Hicube Pro 系列

靈活搭配