殘余氣體分析儀應(yīng)用于角分辨光電子能譜儀 XPS

上海伯東德國(guó) Pfeiffer 殘氣質(zhì)譜儀 RGA 應(yīng)用于角分辨光電子能譜儀 XPS
光電子能譜儀（photoelectron spectrograph）利用光電效應(yīng)測(cè)出光電子的動(dòng)能及其數(shù)量的關(guān)系，由此來(lái)判斷樣品表面各種元素含量，并可分析固、液、氣樣品中除氫以外的一切元素。
角分辨 XPS 應(yīng)用于各種固體材料表面（界面）的元素及化學(xué)態(tài)的定性、半定量、結(jié)構(gòu)分析及化學(xué)

鍵研究。
使用上海伯東德國(guó)Pfeiffer殘氣分析質(zhì)譜 QMG，對(duì)XPS系統(tǒng)的分析室殘余氣體進(jìn)行定性和半定量分析，并針對(duì)殘余氣體進(jìn)行除氣措施，從而達(dá)到清潔樣品表面，減少空氣分子與標(biāo)的電子的碰撞，最終得到金屬材料表面的元素及結(jié)構(gòu)分析信息。
上海伯東客戶案例：上海某大學(xué)
角分辨光電子能譜儀+Pfeiffer殘余氣體分析質(zhì)譜應(yīng)用試驗(yàn)條件：
金屬樣品厚度：2nm
主真空室：1×10^-10 Torr
分辨率：0.8cV
電子槍束斑：75nm
靈敏度：80KCPS
信噪比：大于70:1
角分辨：5°～90°
靈敏度：255 KCPS A1/Mg雙陽(yáng)極靶
能量分辨率：0.3% 位置靈敏檢測(cè)器（PSD）
角分辨光電子能譜儀配套上海伯東德國(guó) Pfeiffer QMG 質(zhì)譜分析儀配置:
1.測(cè)量范圍:1-300amu
2.檢測(cè)方式:Faraday/C-SEM
3.加熱溫度:1-200℃
4.離子源:開(kāi)放式離子源

Pfeiffer 殘余氣體質(zhì)譜分析儀與友廠同級(jí)別質(zhì)譜分析儀相比，更適用于移動(dòng)應(yīng)用，并且提供高解析度和靈敏度，可對(duì)氣體進(jìn)行定性和定量分析，應(yīng)用范圍廣泛，從大氣壓力到高真空均可使用。