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四探針測(cè)試儀

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產(chǎn)品型號(hào)RTS-8型

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地天津市

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更新時(shí)間:2018-05-15 16:16:03瀏覽次數(shù):2764次

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RTS-8型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。

儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。

儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。

RTS-8型四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序,通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

技 術(shù) 指 標(biāo) :

測(cè)量范圍:

電阻率:10-4~105 Ω.cm(可擴(kuò)展);  
方塊電阻:10-3~106 Ω/□(可擴(kuò)展);
電導(dǎo)率:10-5~104 s/cm;

電阻:10-4~105 Ω;

可測(cè)晶片直徑

140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái));
200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái));

 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái));

恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;

顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動(dòng)顯示;

四探針探頭基本指標(biāo)針

間絕緣電阻:≥1000MΩ;

機(jī)械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);

四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見(jiàn)探頭附帶的合格證)

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)  0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5%

計(jì)算機(jī)通訊接口并口

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度:23±2℃;
 相對(duì)濕度:≤65%;
 無(wú)高頻干擾;
 無(wú)強(qiáng)光直射;

專業(yè)供應(yīng)四探針測(cè)試儀系列及其配套附件產(chǎn)品(粉末壓片機(jī)、壓片模具),質(zhì)量保證、*、售后服務(wù)周到是值得廣大客戶信賴的專業(yè)供應(yīng)商。我公司長(zhǎng)年與全國(guó)各大高校、研究所、研究院、藥廠等多部門(mén)企事業(yè)單位實(shí)驗(yàn)室建立合作關(guān)系,受到廣大新老客戶的一直好評(píng)。: 郭

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