多功能CVD系統(tǒng)

型號/model

MFCVD-Ⅰ/ MFCVD-Ⅱ

微波特性

2450MHz（220V）；功率：4KW，分檔和/或無極連續(xù)可調(diào)

諧振腔

304不銹鋼諧振腔&專用波導(dǎo)設(shè)計避免電子回轟

加熱方式

4種：微波等離子、純微波、~傳統(tǒng)電加熱、混合加熱

雙溫區(qū)結(jié)構(gòu)

上部等離子區(qū)或加熱區(qū)、下部樣品臺加熱區(qū)

樣品腔材質(zhì)

石英管：微波等離子工作模式；石英管&剛玉管：純微波、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱模式

樣品腔直徑/mm

Φ45、Φ60、Φ100石英樣品腔(1100℃)可選；Φ45、Φ60剛玉樣品腔(1500℃)可選

樣品腔/加熱區(qū)長度

樣品腔：100~300mm可選；加熱區(qū)：100mm或以上可選

樣品臺溫度

室溫-1200℃，更高溫度可選；控溫精度：±1℃/±2℃；觸摸屏智能控制

升溫速度

>200℃/min（微波等離子工作模式除外），可在0~升溫速度之間編程設(shè)定自動控制

質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

2套，七星華創(chuàng)（真空保護閥門后置，匹配真空模式）；精度：0.8%；耐壓：1MPa；控制響應(yīng)時間：10ms；氣體類型可選；計算機及控制軟件，內(nèi)置&實時顯示&保存生長參數(shù)

超潔凈真空系統(tǒng)

3Pa量級，渦旋泵+數(shù)字真空計； 10-3Pa量級，渦旋泵+分子泵+復(fù)合真空計

端口&氣路

不銹鋼KF50法蘭接口，氣柜、氣路及閥門等

Ⅰ型結(jié)構(gòu)

臥式：氣流方向與樣品臺樣品表面平行

Ⅱ型結(jié)構(gòu)

立式：氣流方向與樣品臺樣品表面垂直

用途

該系統(tǒng)既可用作傳統(tǒng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備，又可用作微波能化學(xué)氣相沉積設(shè)備，同時又是微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。可用于各種功能薄膜的生長，例如：石墨烯、金剛石、各種半導(dǎo)體材料薄膜、磁性薄膜，等等。