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詳細(xì)介紹
能觀察IC內(nèi)部的近紅外線（IR）觀察專用型號（透反射/反射）
● 近紅外外透射反射觀察用顯微鏡
● 5X到10X紅外鏡頭,像差校正本涵蓋從可見光到近紅外整個(gè)波段
● 晶圓，化合物半導(dǎo)體的內(nèi)部，封裝芯片內(nèi)部以及CSP bump觀察適宜
主要特點(diǎn)：
1.UIS無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)，提供出色的圖像質(zhì)量
2.人機(jī)工程學(xué)的進(jìn)一步改善，使操作更為舒適
3.多種高度功能化的附件，能滿足各種檢驗(yàn)需要
物鏡 | 倍率 | 數(shù)值孔徑 | 工作距離（mm） | 硅片厚度 | 分辨率（um） |
LMPLN-IR | 5X | 0.1 | 23 | -- | 6.71 |
10X | 0.3 | 18 | -- | 2.24 | |
LCPLN-IR | 20X | 0.45 | 8.3 | 0-1.2 | 1.49 |
50X | 0.65 | 4.5 | 0-1.2 | 1.03 | |
100X | 0.85 | 1.2 | 0-1 | 0.79 |
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