詳細(xì)介紹
(水質(zhì)指標(biāo)均符合美國(guó)的ASTM標(biāo)準(zhǔn),符合電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級(jí))
預(yù)處理-反滲透- 水箱-陽床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水對(duì)象
預(yù)處理-一級(jí)反滲透-加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級(jí)反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對(duì)象
預(yù)處理-二級(jí)反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對(duì)象
預(yù)處理-二級(jí)反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對(duì)象 .
應(yīng)用場(chǎng)合
· 系統(tǒng)適合用于半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路的場(chǎng)所;
· 適合應(yīng)用于超純材料和超純化學(xué)試劑;
· 實(shí)驗(yàn)室和中試車間
· 汽車、家電表面拋光處理;
· 其他高科技精微產(chǎn)品。