GWMS系列無(wú)油超高真空機(jī)組

機(jī)組型號(hào)

GWMS110/150

GWMS600/300

GWMS1200/600

GWMS1600/1000

主抽泵型號(hào)

FF-100/110

FF-160/620

FF-200/1200

FF-250/1600

前級(jí)泵型號(hào)

GWSP150

GWSP300

GWSP600

GWSP1000

抽速

l/s

110

600

1200

1600

l/min

6.6*10³

3.6*10⁴

7.2*10⁴

9.6*10⁴

m³/h

3.9*10²

2.2*10³

4.3*10³

5.8*10³

cfm

2.3*10²

1.3*10³

2.5*10³

3.4*10³

極限真空度

Pa

≤1.0*10^-5

≤1.0*10^-5

≤1.0*10^-5

≤1.0*10^-5

Torr

≤7.5*10^-7

≤7.5*10^-7

≤7.5*10^-7

≤75*10^-7

psi

≤1.4*10^-9

≤1.4*10^-9

≤1.4*10^-9

≤1.4*10^-9

噪音

dB(A)

≤63

≤63

≤63

≤63

啟動(dòng)時(shí)間

min

≤3

進(jìn)/排氣壓力

MPa

0.1/0.13

工作環(huán)境溫度

℃

5～40

冷卻方式

水冷或風(fēng)冷

電源

三相380/220V/50Hz或單相220/50Hz

進(jìn)氣口方向

任意角度安裝

垂直安裝

垂直安裝

垂直安裝

進(jìn)/排氣口尺寸

CF100/KF16

CF150/KF16

CF200/KF16

CF250/KF16*2

外形尺寸

mm

500*510*685

730*520*700

950*570*730

990*630*880