詳細(xì)介紹
一、產(chǎn)品用途
大平臺(tái)工業(yè)顯微鏡配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡、大視野目鏡、圖像清晰,襯度好。是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為高級(jí)工業(yè)顯微鏡使用。可進(jìn)行明暗場(chǎng)觀察、落射偏光、DIC觀察,廣泛用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對(duì)硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測(cè)分析。也廣泛的應(yīng)用于透明,半透明或不透明物質(zhì),比如金屬陶瓷、電子芯片、印刷電路、LCD基板、薄膜、纖維、顆粒狀物體、鍍層等材料表面的結(jié)構(gòu)、痕跡,都能有很好的成像效果
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
1.采用了UIS高分辨率、長(zhǎng)工作距離無(wú)限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
2.拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù),無(wú)限遠(yuǎn)物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法,并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。
3.采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度。
4.超大視野目鏡WF10X(Φ25),配置長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)金相物鏡。三、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
類 型
放大倍數(shù)
視場(chǎng)(mm)
超大視場(chǎng)目鏡
10X
Φ25
2. 物鏡
類 型
放大倍數(shù)
數(shù)值孔徑NA
工作距離mm
明/暗場(chǎng)
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡(5組)
L5X BD
0.10
29.4
明暗場(chǎng)共用
L10X BD
0.25
16.00
明暗場(chǎng)共用
L20X BD
0.40
10.6
明暗場(chǎng)共用
L50X BD
0.55
5.1
明暗場(chǎng)共用
L100X BD
0.80
3.0
明暗場(chǎng)共用
3. 轉(zhuǎn)換器:五孔
4.工作臺(tái)尺寸:311mm*352mm,移動(dòng)范圍:250mm×250mm
5.調(diào)焦:粗微動(dòng)同軸,范圍36mm,微動(dòng)0.002mm
6.光源:垂直照明,帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄,鹵素?zé)?2V/100W,AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié)
7.DIC裝置:偏光裝置、明暗場(chǎng)轉(zhuǎn)換
8.適配鏡:直徑:59mm,放大倍率:0.5倍 ,內(nèi)調(diào)焦距:0~3mm 調(diào)焦后可鎖緊
9.攝像機(jī):高速HDMI接口;白平衡:自動(dòng)/手動(dòng) 一鍵白平衡, 幀率:60fps帶圖像測(cè)量和拍攝功能
10.軟件功能:圖像顯示、圖像拍攝、錄像和圖象處理功能
四、儀器成套性
1.顯微鏡主體:1臺(tái) 2.目鏡筒:1只 3.10X目鏡:1對(duì)
4.無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡5X、10X、20X、50X:各1只
5. 0.5倍適配鏡:1只
6. HDMI 2K測(cè)量型CCD:1套 7.21.5英寸高清液晶顯示器1臺(tái)
7.產(chǎn)品文件:1套-
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