詳細(xì)介紹
反射膜厚儀/測厚儀/F20系列
的臺(tái)式薄膜厚度測量系統(tǒng)
只需按下一個(gè)按鈕,您在不到一秒鐘的同時(shí)測量厚度和折射率。設(shè)置同樣簡單, 只需插上設(shè)備到您運(yùn)行Windows™系統(tǒng)計(jì)算機(jī)的USB端口, 并連接樣品平臺(tái) , F20已在世界各地有成千上萬的應(yīng)用被使用. 事實(shí)上,我們每天從我們的客戶學(xué)習(xí)更多的應(yīng)用.
選擇您的F20主要取決於您需要測量的薄膜的厚度(確定所需的波長范圍)應(yīng)用于非晶態(tài)多晶硅,CMP,電介質(zhì),玻璃和塑料厚度,硬涂層厚度,集成電路故障分析,,銦錫氧化物與透明導(dǎo)電氧化物,醫(yī)療設(shè)備,金屬厚度測量,有機(jī)發(fā)光顯示器,眼科設(shè)備涂層,有機(jī)保焊劑/銅表面處理,聚對(duì)二甲苯涂層,光刻膠,多孔硅,制程薄膜,折射率和消光系數(shù),硅晶圓薄膜,太陽光伏,半導(dǎo)體教學(xué)實(shí)驗(yàn)室,卷式涂層
Filmetrics F20*是監(jiān)測薄膜沉積的有效工具,可安裝在任何真空鍍膜機(jī)腔體外的窗口,實(shí)時(shí)監(jiān)控長晶速度,實(shí)時(shí)測量膜厚、n 、k 值以及半導(dǎo)體和絕緣體涂層的均勻性??杉友b三個(gè)探頭,同時(shí)測量三個(gè)樣品,有三種不同波長選擇( 波長范圍從可見光380nm 至近紅外1700nm);
主要特點(diǎn):
*測量精度高,優(yōu)于1% ;
*測量速度快,幾秒鐘內(nèi)可完成測量;
*整套設(shè)備可放置在沉積室外;
*操作簡單,使用方便;
*價(jià)格便宜
應(yīng)用領(lǐng)域:
*分子束外延MBE;
*金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積MOCVD;
*材料研究;
*光電鍍膜應(yīng)用: 硬化膜、抗反射膜、濾波片
額外的好處:
· 每臺(tái)系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種
· 應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)
· 網(wǎng)上的 “手把手" 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))
· 硬件升級(jí)計(jì)劃
Model | Thickness Range* | Wavelength Range |
F20 | 15nm - 70µm | 380-1050nm |
F20-EXR | 15nm - 250µm | 380-1700nm |
F20-NIR | 100nm - 250µm | 950-1700nm |
F20-UV | 1nm - 40µm | 190-1100nm |
F20-UVX | 1nm - 250µm | 190-1700nm |
F20-XT | 0.2µm - 450µm | 1440-1690nm |
F3-sX 系列 | 10µm - 3mm | 960-1580nm |