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FM80高精度泄漏測(cè)試儀基于層流壓差原理,采用高精度壓力和溫度傳盛器配合算法,測(cè)量精度高,重復(fù)性好針對(duì)微小流量檢測(cè)開發(fā)的專項(xiàng)產(chǎn)品,可測(cè)量范圍低至0.005sccm低壓損,可用于氣源壓力低的測(cè)試場(chǎng)合耐壓高達(dá)1MPa,堅(jiān)固耐用,不易損壞優(yōu)異的氣路設(shè)計(jì),測(cè)試過(guò)程隔離氣源波動(dòng)的影響大大提高測(cè)試重復(fù)性
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