產(chǎn)品功能
對(duì)各種產(chǎn)品和材料的表面平面度、粗糙度、波面性、面形輪廓、共面性、表面缺陷、研磨情況、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況、加工形貌特征等進(jìn)行測量和分析。標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)的系統(tǒng)要求被測物體尺寸通常不大于150*100*100mm,更大的尺寸根據(jù)要求也可供貨。工作臺(tái)zui大承載重量10Kg。
應(yīng)用范圍
* 汽車工業(yè)、造紙工業(yè)、鋼鐵工業(yè)、薄膜加工、半導(dǎo)體加工、MEMS、醫(yī)療行業(yè)等。
* 機(jī)械部件的平面度、形貌特征和輪廓測量,用來確定其表面的變化情況和材料損耗;
* 電子材料表面的平面度、翹曲度和粗糙度分析;
* 薄膜的厚度及涂層的高度測量等;
* BGA焊料球的共面性,封裝是否變形以及所有焊料球是否存在的檢查和分析;
* 化學(xué)蝕刻產(chǎn)品的測量,確定蝕刻深度和面積;
* 壓花材料平面特征分析,如合成材料皮革表面形狀測量分析;
* 絲印裝置涂層厚度測量,如電子產(chǎn)品和生物科研等;
* 對(duì)軋制鋁膜和鋼板表面情況進(jìn)行三維分析;
* 法醫(yī)學(xué)上三維表面測量分析;
* 壓電陶瓷裝置的輪廓和表面測量;
* 牙齒的腐蝕和磨損情況分析;
* 醫(yī)學(xué)上的應(yīng)用,如人造皮膚的輪廓分析;
* 溝槽深度和截面分析;
* 激光蝕刻表面的雕刻深度;
* 各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無法檢測的表面形態(tài)測量和分析;
* 其他各種小型部件的平面度、粗糙度和輪廓測量分析。
產(chǎn)品介紹
英國Scantron Industrial Products Ltd公司生產(chǎn)的表面粗糙度輪廓測量儀Proscan 2100配有推力直線電機(jī),提高了掃描速度和運(yùn)行的平滑度,由于采用非接觸的測量方式,線性電機(jī)可以避免驅(qū)動(dòng)裝置的噪聲和振動(dòng)對(duì)測量結(jié)果的影響。
Proscan 2100還配有實(shí)時(shí)機(jī)械控制軟件和Invar線性標(biāo)尺(熱脹冷縮系數(shù)非常低),分辨率為20nm,可掃描的zui小數(shù)據(jù)點(diǎn)間隔為0.1微米。
Proscan 2100以花崗巖為支架,是快速、精準(zhǔn)、非接觸式的三維表面測量儀器。廣泛應(yīng)用各種表面輪廓和形貌特征的精確測量和分析。高性能非接觸式光學(xué)傳感器掃面范圍是150mm(長)X100mm(寬),對(duì)被測件平面的掃描zui多可達(dá)八百萬個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)。配套軟件可以對(duì)各種測量參數(shù)進(jìn)行分析。
Proscan 2100配有多種可更換式非接觸光學(xué)傳感器,用于垂直軸方向的粗糙度測量,測量范圍是0-150μm-270mm。
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Proscan 2100掃描儀 | Proscan全套系統(tǒng) | Proscan 2100掃描頭 |
工作原理:光學(xué)色差傳感器技術(shù)
通過光纖電纜,將白光從光源發(fā)生器里傳輸?shù)絺鞲衅魃?。傳感器頭部配有特制的透鏡,通過色差成像技術(shù),將白光轉(zhuǎn)換為其顏色分量,在被測物體表面上形成的光斑,再經(jīng)由傳感器返回到光譜分析儀。通過測量對(duì)焦點(diǎn)的波長,就可精確的測量出距離的大小。這是因?yàn)橥哥R按照不同的距離聚焦不同的顏色,而在整個(gè)測量范圍內(nèi),斑點(diǎn)的直徑保持不變的原理。
產(chǎn)品特點(diǎn)
* 花崗巖框架結(jié)構(gòu),受熱脹冷縮影響非常小,基本沒有振動(dòng)。
* 使用線性電機(jī)和優(yōu)質(zhì)工作臺(tái),電機(jī)與工作臺(tái)不相連,減少了噪聲振動(dòng)對(duì)掃描數(shù)據(jù)的影響。
* 電機(jī)質(zhì)量更輕,提高了運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)的平滑度和平靜度。
* 測量速度快,每秒可達(dá)1000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn),分辨率達(dá)5nm。
* 傳感器采用可更換式設(shè)計(jì),方便各種粗糙高度材料的測量。
* 非接觸式測量,不對(duì)被測物體造成劃痕磨損,更加適用于對(duì)腐蝕性材料的測量。
* 掃描范圍為150*100mm,適用于對(duì)各種尺寸產(chǎn)品的輪廓測量,安裝簡單。
* 矩陣式掃描方式,可對(duì)物體某個(gè)部位進(jìn)行單獨(dú)掃描,亦可對(duì)不規(guī)則形狀進(jìn)行測量。
* 功能強(qiáng)大的配套軟件,適用范圍廣,操作簡單,方便對(duì)各種掃描數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。
* 使用ProForm軟件,可對(duì)材料磨損前和磨損后的輪廓差異情況進(jìn)行診斷和分析。
軟件特點(diǎn)
顯示特點(diǎn)
- 彩色三維或二維數(shù)據(jù)分析實(shí)時(shí)顯示
- 平面式視圖
- 自動(dòng)或手動(dòng)標(biāo)注刻度
- 視圖方向可隨意旋轉(zhuǎn)
矩陣式掃描
- 對(duì)單個(gè)部件進(jìn)行多行掃描
- 對(duì)安裝在夾具上的多個(gè)部件進(jìn)行自動(dòng)掃描
- 自動(dòng)生成掃描結(jié)果報(bào)告
保存、回取、導(dǎo)出和打印
- 從硬盤中上傳已保存的掃描數(shù)據(jù)
- 對(duì)兩個(gè)掃描結(jié)果進(jìn)行比較,顯示其差別
- 導(dǎo)出ASCII格式數(shù)據(jù),ZZZZ...LF & XYZLF...CR'a'或Matlab格式數(shù)據(jù)
- 彩色三維位圖
- 通過Windows打印管理器進(jìn)行打印
評(píng)定參數(shù)
Am 輪廓算術(shù)平均值
Ra 粗糙度中心線平均值
Rz(DIN) 峰谷高低平均值
Rz(ISO) 十點(diǎn)高度
Rmax 峰谷高低zui大值
Rp 峰值高度平均值
Rq 粗糙度均值平均方根
Rpm 峰值高度zui大值
Rvm 谷值深度zui大值
R3z 第三峰谷高低平均值
Wt 波形深度總值
Pt 輪廓深度總值
Nr 峰值計(jì)數(shù)歸一
Tpi 承載比
Tpa 材質(zhì)比(宏)
D 峰值密度
S 峰值輪廓間隔平均值
Sm 峰值就地間隔平均值
數(shù)據(jù)設(shè)定
- X、Y和Z三維視圖設(shè)定
- 二維X、Y平面視圖設(shè)定
- 用戶自定義三點(diǎn)平面修正
- 自動(dòng)平面修正
- 掃面圖形可*旋轉(zhuǎn)
- 共面性的計(jì)算
結(jié)果過濾
Warpage過濾器(可選)可清除表面粗糙情況,只保留輪廓。
Surface過濾器(可選)可清除表面輪廓,只保留粗糙情況。
形態(tài)測量
- 弧面的半徑計(jì)算
- 體積計(jì)算
- 表面積計(jì)算
- 截面積計(jì)算
- 臺(tái)階高度測量
- 角度計(jì)算
其他
- X、Y單獨(dú)掃描或X&Y同時(shí)掃描
- X軸zui大掃描點(diǎn)數(shù):30000
- Y軸zui大掃描點(diǎn)數(shù):30000
- X&Y軸掃描zui大點(diǎn)數(shù):800萬
- X軸增量范圍:1μm-9.999mm
- Y軸增量范圍:1μm-9.999mm
Proscan 2100主顯屏幕
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BGA球柵陣列表面掃描圖 | 機(jī)械密封平面度掃描圖 |
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表面粗糙度掃描圖 | 薄膜材料表面形態(tài)掃描圖 |
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孔端面的平面度掃描圖 | 截面二維輪廓圖 |
技術(shù)規(guī)范
X軸(長)
- 掃描的長度范圍150mm
- 線性編碼器分辨率:20nm
- 數(shù)據(jù)點(diǎn)間隔zui小增量:0.1μm
- 導(dǎo)軌:精密交叉式輥軸
- 線性度:25mm行程范圍內(nèi)0.5μm
- 定位精度:40nm
- zui大負(fù)載:5kg
- 線性電機(jī):*非接觸式驅(qū)動(dòng)
Y軸(寬)
- 掃描的寬度范圍100mm
- 線性編碼器分辨率:20nm
- 數(shù)據(jù)點(diǎn)間隔zui小增量:0.1μm
- 導(dǎo)軌:精密交叉式輥軸
- 線性度:25mm行程范圍內(nèi)0.5μm
- 定位精度:40nm
- zui大負(fù)載:4kg
- 線性電機(jī):*非接觸式驅(qū)動(dòng)
Z軸(高)
- 150mm行程
- 絲杠電機(jī)驅(qū)動(dòng)
- 根據(jù)被測物體大小,手動(dòng)定位傳感器的高度
產(chǎn)品尺寸
- 尺寸:740*542*838mm (長*寬*高),重量:79kg
電源
100-110/220或240VAC,50/60Hz
傳感器選型方案
傳感器 型號(hào) | 垂直 測量范圍 | 物鏡測量距離 mm | 分辨率 | 線性度 (%+/-量程) | 技術(shù) 原理 |
S3/011 | 110 μm | 3.3 | 5 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
S11/03 | 300 μm | 11 | 12 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
S13/1.1 | 1.1 mm | 12.7 | 25 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
S16/2.5 | 2.5 mm | 16.4 | 75 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
S29/10 | 10 mm | 29 | 280 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
S20/20 | 20 mm | 19.6 | 600 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
L25/2H | 2 mm | 25 | 0.1 μm | 0.05 | CCD三角測量技術(shù) |
L35/10H | 10 mm | 35 | 0.5 μm | 0.03 | CCD三角測量技術(shù) |
L50/20H | 20 mm | 50 | 1 μm | 0.03 | CCD三角測量技術(shù) |
L70/50H | 50 mm | 70 | 2.5 μm | 0.03 | CCD三角測量技術(shù) |
各種可選項(xiàng)
* 照明與定位攝像頭,用于小型部件的定位和缺陷檢查;
* 花崗巖橫梁,用于Proscan安裝;
* 其他各種傳感器;
* 仿制材料,用于對(duì)不容易進(jìn)入的區(qū)域或?qū)Ρ砻鏈y量有困難的產(chǎn)品的表面特征復(fù)制;
* 比標(biāo)準(zhǔn)配置中的X和Y測量范圍更大的應(yīng)用平臺(tái)。
視頻演示
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表面粗糙度輪廓儀.pdf0