HMT 100-RC 高壓殘余氣體分析儀(High Pressure Residual Gas Analyser)配備了精密的四極質(zhì)譜儀,*的雙重模式RGA系統(tǒng),檢測(cè)已有的或生產(chǎn)過(guò)程中形成的氣體。針對(duì)真空診斷以及過(guò)程監(jiān)測(cè)。
應(yīng)用:
· 殘余氣體或泄漏檢測(cè)
· 實(shí)質(zhì)泄漏或脫附分析
· 除氣研究
· 烘烤周期
· 泵效能
· 腔室/過(guò)程氣體污染物
特點(diǎn):
· HMT型適用于高壓4x10-3 Torr操作(zui小壓力4x10-8 Torr)
· 在P < 10-4 Torr時(shí)具有高靈敏度的RGA操作模式,zui小壓力1x10-11 Torr
· zui大質(zhì)量數(shù)100amu,軟件操作。
· 穩(wěn)定性好(24h之上,高度變化小于±1% )
· MASsoft軟件控制,或由局域網(wǎng)進(jìn)行多個(gè)系統(tǒng)控制
· 快速顯示柱狀圖、趨勢(shì)分析和信號(hào)峰
· 混合模式掃描,多個(gè)窗口顯示信息,例如趨勢(shì)、柱狀圖和信號(hào)峰等
· 同步顯示數(shù)據(jù)圖,列表
· 同步背景扣除,自動(dòng)質(zhì)量數(shù)列表
· 數(shù)據(jù)輸出為ASCII格式,至windows設(shè)備
· 即時(shí)動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)交換至其他DDE兼容的windows軟件,例如 Excel等
HMT100 高壓殘余氣體分析儀來(lái)源于:北京英格海德分析技術(shù)有限公司