Hiden RGA 系列殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀(Residual Gas Analysers)用于對真空診斷的精確分析,進(jìn)行過程中產(chǎn)生氣體的分析。
· 殘余氣體或泄漏檢測
· 實(shí)質(zhì)泄漏或脫附分析
· 除氣研究
· 烘烤周期
· 泵效能
· 腔室/過程氣體污染物
特點(diǎn):
· 靈敏度PPM,質(zhì)量數(shù)至300amu
· 穩(wěn)定性(24小時以上,峰高變化小于±0.5%)
· MASsoft軟件控制,或由局域網(wǎng)進(jìn)行多個系統(tǒng)控制
· 快速顯示柱狀圖、趨勢分析和信號峰
· 混合模式掃描,多個窗口顯示信息,例如趨勢、柱狀圖和信號峰
· 同步顯示數(shù)據(jù)圖,列表
· 同步背景扣除,自動質(zhì)量數(shù)列表
· 數(shù)據(jù)輸出為ASCII格式,至windows設(shè)備
· 即時動態(tài)數(shù)據(jù)交換至其他DDE兼容的windows軟件,例如
Excel、SPC-IV統(tǒng)計(jì)過程控制軟件等
HAL RGA 四極質(zhì)譜儀來源于:北京英格海德分析技術(shù)有限公司