擴散爐熱電偶
半導體專用測溫儀表擴散爐熱電偶分為:多晶鑄錠爐熱偶、擴散爐專用熱電偶、鑄錠爐熱電偶、profile TC、Paddle TC、Spike TC多點式擴散爐熱電偶等,各種產品形態(tài)不一,大小與結構也盡不相同。做為高精度擴散爐熱電偶來說,為各大光伏產業(yè)帶來了許多幫助。該產品為了生產加工PECVD的隔離導電性,外表的絕緣采用透明高純度石英管或高純度99%剛玉管制造而成,采用多個點位精確測量,也有用戶采用多點測量法計算出爐內的平均值從而獲得應有的數據。
溫度測量在0~1800℃中使用,測量點分為單點和多點,點可達8個點的測量,精度符合國際標準,工業(yè)等級I級,1500度誤差2℃不到,精度相當高,代替進口產品。擴散爐熱電偶用于光伏產業(yè)、半導體的開發(fā)與研制、科研領域、單位、進口設備(如:Centrotherm擴散爐設備、ALD真空感應爐、GT Solar 的 DSS 爐等)、燒結爐、退火爐、真空爐、氧化爐、擴散爐等,可溶化多晶硅、生長多晶硅錠、單晶硅、非晶硅、無定形硅和玻璃等工藝測溫。
技術參數:
1、符合IEC584 GB/T18404-2001標準
2、精度等級:CLASS-A:0.25% ;CLASS-B:0.5%
3、Spike TC是用來測量與控制爐管外的各點溫度
4、profile TC與Paddle TC是用來測量與控制爐管內各點溫度
5、與spike和profile配套使用,可自動切換方式進行控溫
6、壽命長、精度高、穩(wěn)定性好、交貨期短、可代替進口
7、擴散爐熱電偶總長含頭1750mm。(5點長:1700、1530、1200、870、700)
擴散爐熱電偶產品選型:
擴散爐爐外熱電偶(可帶螺紋、法蘭、裸露式):
NAME | Spike TC (group :1、2) | |||
TYPE | SKFN-Spike TC | SKFN-Spike TC | SKFN-Spike TC | SKFN-Spike TC |
GRADUATION | B-type | S-type | R-type | K-type |
QUALITY | 剛玉管、陶瓷管、石英管、鉬管 | |||
SPEC | Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0 mm | |||
RANGE | 0~1800℃ | 0~1600℃ | 0~1600℃ | 0~1300℃ |
SENSITIVITY | 5s≤ | 5s≤ | 8s≤ | 10s≤ |
THERMAL ERROR | 1.0℃ | 1.2℃ | 1.5℃ | 2.0℃ |
USE | 真空爐、氧化爐、擴散爐 | |||
FIRM NAME | 鉑銠熱電偶、擴散爐熱電偶、專用熱電偶 |
擴散爐爐內熱電偶(爐內、爐外):
NAME | profile TC (point :1、3、5、8) | |||
TYPE | SKFN-profile TC1、SKFN-profile TC3、SKFN-profile TC5、SKFN-profile TC8 | |||
GRADUATION | B-type | S-type | R-type | K-type |
QUALITY | 剛玉管、陶瓷管、石英管、鉬管、鎢管 | |||
SPEC | Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0、Φ6.0、Φ8.0、Φ10.0mm | |||
RANGE | 0~1800℃ | 0~1600℃ | 0~1600℃ | 0~1300℃ |
SENSITIVITY | 5s≤ | 5s≤ | 8s≤ | 10s≤ |
THERMAL ERROR | 1.0℃ | 1.2℃ | 1.5℃ | 2.0℃ |
USE | 燒結爐、退火爐、真空爐、氧化爐、擴散爐 | |||
FIRM NAME | 石英熱電偶、多點熱電偶、擴散爐熱電偶、貴金屬鉑銠熱電偶 |
擴散爐爐內外熱電偶(鎧裝式、爐內、爐外、可彎曲):
NAME | Paddle Tc | |||
TYPE | SKFN-Paddle Tc | |||
GRADUATION | B-type | S-type | R-type | K-type |
QUALITY | GH3039、GH3030 | |||
SPEC | Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0、Φ6.0、Φ8.0、Φ10.0mm | |||
RANGE | 0~1300℃ | |||
SENSITIVITY | 5s≤ | 5s≤ | 5s≤ | 6s≤ |
THERMAL ERROR | 1.0℃ | 1.2℃ | 1.5℃ | 2.0℃ |
USE | 真空爐、氧化爐、擴散爐 | |||
FIRM NAME | 鎧裝鉑銠熱電偶、擴散爐熱電偶、微細鎧裝鉑銠熱電偶 |