設(shè)備特點
此款CVD系統(tǒng)是由多通道高精度的質(zhì)量流量計、低真空機組以及1500度高溫管式爐組成。其廣
泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領(lǐng)域。
加熱區(qū)參數(shù):
| 爐管尺寸:Φ 50×700mm 加熱元件:硅碳棒 加熱區(qū)長度:160mm 推薦升溫速度:1400℃以下≤10℃/min,1400℃以上≤5℃/min 額定功率:2.5KW 外型尺寸: 420×295×520 mm 密封系統(tǒng):爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭(包括精密針閥,指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭) 端口可按實際使用擴展。 標(biāo)準(zhǔn)配件:剛玉管1根,不銹鋼密封法蘭1套,氟膠密封圈2套,氧化鋁管堵4只,高溫手套1副,坩堝鉤1支,小保險1個。 備注:可選配1200℃、1400℃、1600℃、1700℃等不同溫區(qū)的管式爐。 |
氣路系統(tǒng)參數(shù):
| 質(zhì)量流量計參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm (量程可選) 準(zhǔn)確度:±1.5% 線性:±0.5~1.5% 重復(fù)精度:±0.2% 響應(yīng)時間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec 工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa Z大壓力:3MPa 接口:Φ6,1/4'' 顯示:4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體 內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6 壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥:Φ6 連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。 備注:可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計。 |
低真空系統(tǒng)參數(shù):
| 國產(chǎn)油泵型號:BSV-10 抽速:10m3/h 極限真空度:5*10-1pa 電源:220v 50hz 電機功率:0.4kw 進排氣連接口:KF25 用油量:1.1L 電機轉(zhuǎn)速:1440rpm 工作環(huán)境溫度:5-40℃ 噪音:≤56db 電阻真空計參數(shù): 1.配用規(guī)管:ZJ-52T電阻規(guī), 2.測量范圍: 10 5 ~10 -1 Pa, 3.測量路數(shù): 1路 4.控制范圍: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa, 5.控制方式:繼電器觸點輸出,負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載, 6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz, 7.功耗: 20W |