KLA-Filmetrics- Profilm3D

Profilm3D/Profilm3D-200

價格合理、的光學(xué)輪廓儀。

 Profilm3D系列輪廓儀

使用工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)白光干涉法（WLI）和(選配0.1nm 分辨率)相位干涉法（PSI）來產(chǎn)生高質(zhì)量的表面輪廓和（選配）無限景深

的真彩色圖像.

主要特點(diǎn)

§垂直 （VSI） 和相位 （PSI） 掃描干涉測量

§全聚焦™，具有無限景深成像和自然色彩

§白色 LED，帶綠色、紅色和藍(lán)色濾光片

§500萬像素數(shù)碼變焦攝像頭 

§4 個帶物鏡位置傳感器的手動位置轉(zhuǎn)塔 

§支持 5 倍、10 倍、20 倍、50 倍和 100 倍物鏡 

§大視場，10倍物鏡，2.0 x 1.7mm

§500μm壓電行程

§100 x 100mm 或 200 x 200mm 電動 XY 樣品臺 

§±5° 手動傾斜平臺 

§精密樣品定位儀

§易于使用的交互式用戶界面，提供多種語言版本 

§使用模板自動生成報告功能 

§ISO 標(biāo)準(zhǔn)調(diào)平、過濾、粗糙度和臺階高度 

§粗糙度、波紋度和臺階高度參數(shù)的擴(kuò)展列表 – 包括 ISO 和本地（例如：ASME）標(biāo)準(zhǔn)計算方法 

§的調(diào)平技術(shù)，包括具有自動結(jié)構(gòu)排除功能的線路調(diào)平 

§高級計算，如軸承比、距離、平面度、體積、高度分布、FFT、PSD 

§統(tǒng)計過程控制的公差限值

Profilm桌面分析軟件 Profilm3D的軟件功能齊全，直觀，速度快，擁有成本低。大多數(shù)功能已經(jīng)包括在基本配置而且高級功能 相對競爭對手是非常便宜的，比如拼接等！ 圖像處理的部分功能列表 調(diào)平，標(biāo)準(zhǔn)/FFT濾波，異常值去除，粒子去除，裁剪，旋轉(zhuǎn)。 分析函數(shù)的部分列表 臺階高度：直線法、矩形法、直方圖法；支持異種材料校正。 粗糙度：支持線和面積，支持所有47個標(biāo)準(zhǔn)的ASME/EUR/ISO粗糙度參數(shù)。 其他：尺寸、特征間距、體積、承載比、顆粒和顆粒等。. 圖形接口 顏色比例（標(biāo)準(zhǔn)/自定義漸變）、三維照明選項(xiàng)、三維垂直比例控件等。. 圖像處理-手動 可以隨時返回你想返回的數(shù)據(jù)處理的地方，過程中不會因?yàn)閿?shù)據(jù)處理損失原始數(shù)據(jù)信息。 圖像處理-自動 只需用戶單擊自定義測量，機(jī)器會自動的執(zhí)行多步驟分析，用戶可以自己編輯recipes.