電子工業(yè)制備純水的工藝大致分成以下3種:
1、采用離子交換樹(shù)脂制備電子工業(yè)純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→中間水箱→陽(yáng)床→陰床→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置保安過(guò)濾器→用水點(diǎn)。
2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合制備電子工業(yè)純水的方式,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置保安過(guò)濾器→用水點(diǎn)
3、采用反滲透設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進(jìn)行搭配制備電子工業(yè)純水的的方式,這是一種制取純水的新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟(jì),發(fā)展空間**的純水制備工藝,其基本工藝流程為:原水→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置保安過(guò)濾器→用水點(diǎn)