1. 針對不同需求，對產品充氣:選用氣氛：氫氣、氮氣、氦氣或其他惰性氣體;
2. 充氣壓力：< 0.4MPa，有壓力計儀表顯示;
3. 鉗斷：使產品與設備分離。
4. 排除通往產品管路的殘留氣體，進行下一批產品排氣。
5. 工位數：5 個，可單獨或任意多個工位組合工作，每把套密封夾具配一個獨立的電磁截止閥，可獨立控制每個工位密封夾具;
6. 排氣接口：排氣管直徑φ 4×50，需快速的接駁在排氣工作臺接口之上.。
7. 真空度：主系統(tǒng)極限真空度達到 5×10-6 Pa;
8. 真空系統(tǒng)為無油系統(tǒng)，采用磁懸浮分子泵、干式機械泵，真空泵采用進口品牌;
9. 所有涉及真空部件都嚴格遵守超高真空制造工藝，每條管道、每個閥門都經嚴格的檢漏及清洗除氣，保證無污染，漏率低于 1x10-9 Pa.m3/s。
10. 充氣系統(tǒng)：由充氣主閥、壓力表等組成，充氣系統(tǒng)管道按超高真空工藝制造
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