設(shè)備特點(diǎn)
超高真空除氣設(shè)備主要用于電子真空器件及半導(dǎo)體器件制備時(shí)的抽真空和烘烤除氣,是無油、超高真空系統(tǒng)??筛鶕?jù)用戶使用要求定制1~8工位,應(yīng)用于電子半導(dǎo)體行業(yè)。
設(shè)備性能
1、系統(tǒng)內(nèi)極限真空度:5×10-8Pa;
2、真空室極限真空度:5×10-5Pa;
3、加熱爐尺寸φ500×800mm;
4、加熱溫度500~600℃。
設(shè)備特點(diǎn)
超高真空除氣設(shè)備主要用于電子真空器件及半導(dǎo)體器件制備時(shí)的抽真空和烘烤除氣,是無油、超高真空系統(tǒng)??筛鶕?jù)用戶使用要求定制1~8工位,應(yīng)用于電子半導(dǎo)體行業(yè)。
設(shè)備性能
1、系統(tǒng)內(nèi)極限真空度:5×10-8Pa;
2、真空室極限真空度:5×10-5Pa;
3、加熱爐尺寸φ500×800mm;
4、加熱溫度500~600℃。
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