設(shè)備特點(diǎn)
主要用于激光陀螺諧振腔的真空處理,是無(wú)油、雙真空系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)陀螺諧振腔內(nèi)真空獲得、烘烤除氣、氣體充入、氣密性檢測(cè)等制備工藝手動(dòng)或自動(dòng)化控制,具有排氣速度快,極限真空度高等特點(diǎn)。設(shè)備廣泛應(yīng)用于航空、航天、兵器等業(yè)及民用領(lǐng)域。
技術(shù)性能
1.系統(tǒng)極限真空度(含充氣部分):2×10-7Pa;
2.鐘罩極限真空度:5×10-4Pa;
3.鐘罩烘烤溫度:室溫到400℃可控可調(diào);
4.充氣量精確控制;
5.在線氣體組分分析;
6.工件個(gè)數(shù):8/16工位可選。