4吋激光干涉儀
激光干涉儀采用相移技術(shù)準(zhǔn)確表征被測(cè)表面的三維形貌,測(cè)量精度高達(dá) 0.06um 甚至更高,廣泛用于平面光學(xué)元件高精度檢測(cè)。
應(yīng)用
廣泛用于平面光學(xué)元件高精度檢測(cè)。
特點(diǎn)
1. 準(zhǔn)確測(cè)量 100mm 口徑以下的光學(xué)元件的透射波前、反射波前。
2. 測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性能媲美美國(guó) Zygo 和 4D 干涉儀。
3. 根據(jù)客戶(hù)要求定制開(kāi)發(fā)。
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技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目
型號(hào)
測(cè)量方式
菲索干涉原理
移相方式
波長(zhǎng)移相或機(jī)械移相
主機(jī)波長(zhǎng)
632.8nm (可定制)
主相機(jī)分辨率
2048*2048
測(cè)量口徑
4-inch(101.6mm)
主相機(jī)調(diào)焦能力
有
主相機(jī)采集速度
50Hz
透射平面參考鏡面形誤差(PV)
λ/10
反射平面參考鏡面形誤差(PV)
≦ λ/10(可定制 λ/20)
空腔精度(PV)
≦ λ/10, λ=632.8nm
面形誤差測(cè)量重復(fù)性(RMS)
≦ 1nm (2δ)
測(cè)量高平行度光學(xué)元件透、反射波前
支持
標(biāo)準(zhǔn)配件
計(jì)算機(jī) 、條紋監(jiān)視及分析軟件
相干長(zhǎng)度
1.0m (若被擴(kuò)束,此參數(shù)會(huì)變長(zhǎng))
工作溫度要求
22℃ ±1℃
工作溫度波動(dòng)要求
每小時(shí)變化小于 1℃
工作濕度要求
55%±10%RH
隔震要求
氣浮平臺(tái),固有頻率:1-2Hz
工作電壓
AC 110-220V,50/60Hz