速、準(zhǔn)的MFC
針對(duì)半導(dǎo)體工藝的性能
- 嵌入式診斷利用實(shí)時(shí)以太網(wǎng)數(shù)據(jù)采集能力
- 超穩(wěn)定流量傳感器(每年≤設(shè)定值0.15%的漂移)使低流量更精準(zhǔn),同時(shí)減少維修的需求
- 改進(jìn)的閥門(mén)關(guān)閉(≤bin范圍的0.15%)減少閥門(mén)內(nèi)漏,從而改善片晶圓效應(yīng)
- 新增強(qiáng)的抗壓力瞬時(shí)波動(dòng)在持續(xù)流體傳輸中降低了串?dāng)_流敏感度
特點(diǎn)
- 每年<>
- 響應(yīng)穩(wěn)定時(shí)間: 300毫秒 - <>
- 流量可達(dá)到300 slpm
- 全金屬密封的流體通路:可選5µ 或 10µ inch Ra的表面粗糙度
- 抗腐蝕的哈氏合金升溫傳感器在溫度升高時(shí)改善了測(cè)量的重復(fù)性
- MultiFloTM 氣體和量程的可編程性—一臺(tái)表,幾千種氣體和量程的組合,無(wú)需把MFC從管路上拆除,也不會(huì)影響精度
- 方便的用戶(hù)顯示和獨(dú)立的診斷/服務(wù)端口可幫助儀表安裝,監(jiān)測(cè)和故障排查
- GF120 安全傳輸系統(tǒng)(SDS®)是布魯克斯的低壓降質(zhì)量流量控制計(jì),用于離子注入和刻蝕工藝的負(fù)壓安全傳輸系統(tǒng)的氣體傳輸
優(yōu)勢(shì)
- 超常的性能
- 快速反應(yīng)時(shí)間改進(jìn)應(yīng)用效率
- 靈活的拓?fù)?br>
- 幾乎無(wú)限的網(wǎng)絡(luò)拓?fù)淇赡?/li>
- 簡(jiǎn)單、堅(jiān)固
- 配置,診斷以及維護(hù)
- 負(fù)擔(dān)能力
- 標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)端口
應(yīng)用
- 半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備
- 薄膜化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
- 物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)
- 外延工藝系統(tǒng)