前言

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

Code for design of electronic industry clean room

GB 50472-2008

主編部門：中華人民共和國(guó)

批準(zhǔn)部門：中華人民共和國(guó)

施行日期：2 0 0 9 年 7 月 1 日

中華人民共和國(guó)公告

第200號(hào)

關(guān)于發(fā)布國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》的公告

    現(xiàn)批準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，編號(hào)為GB 50472-2008，自2009年7月1日起實(shí)施。其中，第3.2.5、4.3.3(1)、5.4.2、 5.5.6、 6.2.1、 6.2.6、 6.2.7、 6.2.8、 6.2.9、6.3.1、 7.1.6、 7.5.1、 7.5.3(1、2、4、5、6、7、8)、 7.5.4、 7. 5. 6、7.6.1、 7.7.2、 7.7.7(2、3)、 8.3.1、 8.3.2、 8.5.1、 8.5.2(1)、8.5.3(3)、 9.2. 3(3、4、5)、 10. 1 5、 10. 1. 6、 10. 1. 7(2、3)、10.1.8(1、3、4)、 10.2. 5、 10. 2. 6、 10. 4. 2、 10. 4. 3(1、2、3)、10.4.5、 11.2.1(1、2、3、5、6、7、8)、 11.2.2、 11. 2. 3、 11. 2. 5、11.3.1、 12.1.8、 12.2.3(1)、 12.2.4、 12.3.2、 12.3.4(1、3)、12.3.6、12.3.7、12.3.8、12.4.4、13.2.1(2、3)、13.3.4條(款)為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

    本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國(guó)計(jì)劃出版社出版發(fā)行。

中華人民共和國(guó)

二〇〇八年十二月十五日

    本規(guī)范是根據(jù)建設(shè)部“關(guān)于印發(fā)《2005年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂、修訂計(jì)劃(第二批)》的通知”(建標(biāo)函〔2005〕124號(hào))的要求，由中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院會(huì)同有關(guān)單位編制完成的。

本規(guī)范在編制過程中，編制組結(jié)合我國(guó)電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)建造和運(yùn)行的實(shí)際情況，進(jìn)行了廣泛的調(diào)查研究，收集整理相關(guān)的專題報(bào)告、測(cè)試資料，認(rèn)真總結(jié)多年來電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)建造和運(yùn)行方面的經(jīng)驗(yàn)，廣泛征求了國(guó)內(nèi)有關(guān)單位的意見，最后經(jīng)審查定稿。

    本規(guī)范共分15章和4個(gè)附錄。主要內(nèi)容有：總則、術(shù)語、電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求、總體設(shè)計(jì)、工藝設(shè)計(jì)、潔凈建筑設(shè)計(jì)、空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計(jì)、給水排水設(shè)計(jì)、純水供應(yīng)、氣體供應(yīng)、化學(xué)品供應(yīng)、電氣設(shè)計(jì)、防靜電與接地設(shè)計(jì)、噪聲控制、微振控制等。

    本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

    本規(guī)范由負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解釋，由中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院負(fù)責(zé)具體內(nèi)容的解釋。本規(guī)范在執(zhí)行過程中，希望各有關(guān)單位結(jié)合工程實(shí)踐，認(rèn)真總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，若發(fā)現(xiàn)需要修改和補(bǔ)充之處，請(qǐng)將意見和有關(guān)資料寄至中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》管理組(地址：北京市海淀區(qū)萬壽路27號(hào)，郵政編碼：100840，傳真：010—，.xiao—)，以供今后修改時(shí)參考。

    本規(guī)范主編單位、參編單位和主要起草人：

    主編單位：中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院

    參編單位：信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院有限公司 上海電子工程設(shè)計(jì)研究院有限公司 深圳市電子院設(shè)計(jì)有限公司 中國(guó)電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司 北京中瑞電子系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)院

    主要起草人：陳霖新 秦學(xué)禮 晁陽 張利群 王唯國(guó) 侯憶 穆京祥 趙海 高艷敏 勃 肖紅梅 李杰 李錦生 路振福 章光護(hù) 鄒英杰 鐘景華 牛光宏 張曉敏 周志剛 陳騮 焦明偉

1 總則

1.0.1 為在電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)中，做到技術(shù)、經(jīng)濟(jì)適用、安全可靠、節(jié)約資源、降低能耗、確保質(zhì)量，并符合勞動(dòng)衛(wèi)生和環(huán)境保護(hù)的要求，制定本規(guī)范。
1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)。
1.0.3 電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足需潔凈環(huán)境的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)根據(jù)具體情況為今后產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展或生產(chǎn)工藝改進(jìn)的需要預(yù)留條件。
1.0.4 電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、調(diào)試檢測(cè)和安全運(yùn)行、維護(hù)管理創(chuàng)造必要的條件。
1.0.5 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)除應(yīng)執(zhí)行本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。
 

條文說明

1 總則
    本規(guī)范是電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，適用于各種類型電子產(chǎn)品生產(chǎn)用新建、擴(kuò)建和改建的潔凈廠房設(shè)計(jì)。由于各類電子工業(yè)潔凈廠房?jī)?nèi)所生產(chǎn)的電子產(chǎn)品及其生產(chǎn)工藝各不相同，它們對(duì)生產(chǎn)環(huán)境包括空氣環(huán)境和直接與產(chǎn)品生產(chǎn)過程接觸的各類介質(zhì)都有一定的要求。近年來以微電子產(chǎn)品為代表的發(fā)展迅速，微電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程對(duì)生產(chǎn)環(huán)境要求十分嚴(yán)格，對(duì)生產(chǎn)過程所需高純物質(zhì)——高純氣體、高純水、各類化學(xué)品的純度及其雜質(zhì)含量要求更為嚴(yán)格，對(duì)微振控制、噪聲控制和防靜電控制也有嚴(yán)格的要求。因此本規(guī)范根據(jù)電子工業(yè)潔凈廠房的特點(diǎn)制定工程設(shè)計(jì)中應(yīng)該遵循的相關(guān)規(guī)定，確保工程設(shè)計(jì)做到技術(shù)、經(jīng)濟(jì)適用、安全可靠、節(jié)約資源，滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的需求。

2 術(shù)語

2.0.1 潔凈室 clean room
空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。
2.0.2 潔凈區(qū) clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。空間內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制?？梢允情_放式或封閉式。
2.0.3 人員凈化用室 room for cleaning human body
人員在進(jìn)入潔凈室(區(qū))之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。
2.0.4 物料凈化用室 room for cleaning material
物料在進(jìn)入潔凈室(區(qū))之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。
2.0.5 粒徑 partical size
由給定的粒子尺寸測(cè)定儀響應(yīng)當(dāng)量于被測(cè)粒子等效的球體直徑。對(duì)離散粒子計(jì)數(shù)、光散射儀器采用當(dāng)量光學(xué)直徑。
2.0.6 懸浮粒子 airborne particles
用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1～5μm的固體和液體粒子。
2.0.7 含塵濃度 particle concentration
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。
2.0.8 潔凈度 cleanliness
以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度。
2.0.9 空態(tài) as-built
設(shè)施已經(jīng)建成，所有動(dòng)力接通并運(yùn)行，但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。
2.0.10 靜態(tài) at-rest
設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運(yùn)行，但無生產(chǎn)人員。
2.0.11 動(dòng)態(tài) operational
設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運(yùn)行，有規(guī)定的人員在場(chǎng)，并在商定的狀況下進(jìn)行工作。
2.0.12 氣流流型 air pattern
室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布。
2.0.13 單向流 unidirectional airflow
沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。包括垂直單向流和水平單向流。
2.0.14 非單向流 non-unidirectional airflow
凡不符合單向流定義的氣流。
2.0.15 混合流 mixed airflow
單向流和非單向流組合的氣流。
2.0.16 潔凈工作區(qū) clean working area
指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8～1. 5m(除工藝特殊要求外)的區(qū)域。
2.0.17 空氣吹淋室 airshower
利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。
2.0.18 氣閘室 airlock
設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或相鄰房間的污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。
2.0.19 傳遞窗 passbox
在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的開口。兩側(cè)窗扇的開啟應(yīng)進(jìn)行聯(lián)鎖控制。
2.0.20 潔凈工作服 clean working garment
為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。
2.0.21 高效空氣過濾器 (HEPA)high efficiency particulate air filter
在額定風(fēng)量下，最易穿透粒徑法的效率在99.95％以上及氣流初阻力在220Pa以下的空氣過濾器。
2.0.22 超高效空氣過濾器 (ULPA)ultra low penetration air filter
在額定風(fēng)量下，最易穿透粒徑法的效率在99.9995％以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器。
2.0.23 微環(huán)境 minienvironment
將產(chǎn)品生產(chǎn)過程與操作人員、污染物進(jìn)行嚴(yán)格分隔的隔離空間。
2.0.24 風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組 fan filter unit(FFU)
由HEPA或ULPA與風(fēng)機(jī)組合在一起，構(gòu)成自身可提供動(dòng)力的末端空氣凈化的裝置。
2.0.25 自凈時(shí)間 cleanliness recovery characteristic
潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級(jí)的時(shí)間。
2.0.26 技術(shù)夾層 technical mezzanine
潔凈廠房中以水平構(gòu)件分隔構(gòu)成的空間，用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等。
2.0.27 技術(shù)夾道 technical tunnel
潔凈廠房中以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的廊道，用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等。
2.0.28 技術(shù)豎井 technical shaft
潔凈廠房中主要以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的井式管廊，用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等。
2.0.29 專用消防口 fire-firing access
消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的專用入口，平時(shí)封閉，使用時(shí)由消防人員從室外打開。
2.0.30 純水 pure water
雜質(zhì)含量很少的水，其電解質(zhì)雜質(zhì)含量(常以電阻率表征)和非電解質(zhì)雜質(zhì)(如微粒、有機(jī)物、細(xì)菌和溶解氣體等)含量均要求很少的水。
2.0.31 常用氣體 bulk gas
電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，廣泛使用的氫氣、氧氣、氮?dú)?、氬氣、氦氣等氣體。
2.0.32 特種氣體 special gas
電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，使用的硅烷、磷烷、、砷烷、四氯化硅、氯氣等氣體。這些氣體具有可燃、有毒、腐蝕或窒息等特性。
2.0.33 化學(xué)品 chemical
指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用的酸、堿、有機(jī)溶劑和氧化物等。
2.0.34 防靜電環(huán)境 ESD controlled environment
具有防止靜電危害的特定環(huán)境，在此環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電或靜電產(chǎn)生后易于泄放或消除，靜電噪聲難以傳播。
2.0.35 表面電阻 surface resistance
    在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。