用途:主要于燒結(jié)氮化硅陶瓷基板
主要配置:
1.雙層水冷爐體設(shè)計,壓力容器鋼爐殼
2.等靜壓石墨棒作發(fā)熱體,電阻加熱式
3.充氣系統(tǒng)設(shè)有安全閥,壓力繼電器,可靠性強,安全性高。
4.電氣控制采用PLC加觸摸屏控制方式
5.爐后部配快冷風(fēng)機,可縮短冷卻時間
主要技術(shù)參數(shù):
型號:ZT-450-22
1.高溫度:2200度
2.工作溫度:2000度
3.真空度:1Pa
4.氣壓:1MPa.
5.工作區(qū):600X600X1400mm