甲岸科技真空等離子清洗機 100L
甲岸科技真空等離子清洗機采用8K鏡面不銹鋼腔體設(shè)計,密封性;13.56射頻等離子發(fā)生器,產(chǎn)生高密度等高子體,確保出眾的清洗效果,滿足用戶對產(chǎn)品表面處理需求。
產(chǎn)品應用
1、對電子材料、金屬材料、塑料、玻璃、橡膠、PTFE等,表面進行清洗,活化改性,去有機物,去氧化物,去顆粒;
2、提升親水性,增強粘接性,附著力,分子活性。
產(chǎn)品特點
- 不銹鋼托盤設(shè)計,可調(diào)節(jié)托盤間距
- 8K鏡面不銹鋼腔體,密封性
- 高密度等高子體,確保出眾的清洗效果;
- 可視化觸摸屏,過程參數(shù)實時監(jiān)控。
- 支持各種工藝氣體,包括氬氣,氧,氫,氦和氟化氣體
- 高精度氣體流量監(jiān)測系統(tǒng),兩路工藝氣體配置(氬氣、氧氣),雙路氣流控制,比例可調(diào)
型 號 | AP-VM100 | |||
等離子源系統(tǒng) | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | 40KHz 中頻 | |
功 率 | 0~1000W可調(diào) | 0-5000W可調(diào) | ||
選配 | ||||
真空系統(tǒng) | 真空腔體 | 材質(zhì) | 316L不銹鋼、航空鋁(選配) | |
腔體內(nèi)部尺寸(MM) | 450*500*450(寬*高*深) | |||
極板有效尺寸(MM) | 410*400 (寬*深) | |||
極板 | 11層,水平式,活動可調(diào)節(jié) | |||
腔體容積 | 100L | |||
密封性 | 級焊接密封 | |||
泵 | 真空泵 | 油泵/干泵+羅茨泵組合(選配) | ||
真空管路 | 不銹鋼管、不銹鋼波紋管 | |||
真空計 | 1×105~1×10-1Pa | |||
質(zhì)量流量計 | <±1% FS | |||
氣路控制 | 2-4路處理氣體氣路,氣體流量可調(diào) | |||
極限真空 | 5Pa | |||
適用氣體 | 流量范圍 | 0-500SCCM(可調(diào)) | ||
工藝氣體 | Ar、N?、O?、H?等等(可選) | |||
外觀參數(shù) | 外形尺寸(MM) | 850*1700*1020(寬*高*深) | ||
重 量 | 550KG | |||
設(shè)施配置 | 電 力 | 五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計規(guī)范》等國標標準相關(guān)規(guī)定 |