甲岸科技電路板真空等離子清洗機
甲岸科技電路板真空等離子清洗機用于半導體行業(yè)封裝段清洗。晶圓表面活化,除膠,刻蝕,提高表面附著力,確保出眾的清洗效果,滿足用戶對產品表面處理需求。
產品應用
1、FPC/PCB 孔壁凹蝕 / 去除孔壁樹脂鉆污
2、PTFE&聚四氟乙烯材料的活化處理
3、化學沉金/電鍍前手指、焊盤表面清潔
4、碳化物去除
5、去除電鍍夾膜
產品特點
- 采用水平式電極,收、放板方式便捷,方便人員操作,提升換板效率
- 優(yōu)良的冷卻方式,深鉆孔水流設計,消除冷卻管道對電極板之間的遮擋,縮短清洗時間
- 控制界面操作簡單易學,全自動運行,可24小時連續(xù)工作,無需人工看管
Model | AP-PVM-010 | AP-PVM-020 | AP-PVM-030 |
外觀尺寸 (L*W*H mm) | 1400*1360*2000 | 1600*1460*2000 | 1950*1700*2000 |
腔體尺寸 (L*W*H mm) | 500*800*600 | 600*1000*600 | 1200*1300*600 |
電極層數 | 15 | 17 | 17 |
離子發(fā)生器功率 | 10KW 40KHZ | 10KW 40KHZ | 20KW 40KHZ |
真空系統(tǒng) | 50L/Min | 76L/Min | 110L/Min |
壓縮空氣 | 0.5MPa | 0.5MPa | 0.5MPa |
冷卻方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
工藝氣體 | Ar,N2,CF4,O?,H2 | Ar,N2,CF4,O?,H2 | Ar,N2,CF4,O?,H2 |
重量(KG) | 1000 | 1200` | 1500 |
電源 | AV380V 50-60HZ | AV380V 50-60HZ | AV380V 50-60HZ |
語言 | 中文/英文 | 中文/英文 | 中文/英文 |
操作手冊 | 電子檔文件 | 電子檔文件 | 電子檔文件 |