1200℃雙溫立式爐 OTF-1200X-4-VT-II 科晶
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:1200℃雙溫立式爐OTF-1200X-4-VT-II是雙溫區(qū)可垂直開(kāi)啟式立式管式爐,其爐管直徑可制作為100mm,適合于在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行吊燒和淬火。爐體下端裝有一移動(dòng)架,以便移動(dòng)。產(chǎn)品型號(hào) | 1200℃雙溫立式爐OTF-1200X-4-VT-II |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:如作為CVD系統(tǒng)使用,需自備氣源(標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭,可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭) 4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm,承重100kg以上 5、通風(fēng)裝置:需要 |
主要特點(diǎn) | 1、雙層殼體結(jié)構(gòu),帶有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體表面溫度<> 2、開(kāi)啟式爐體更方便于爐管的更換。 3、采用高純氧化鋁作為爐膛材料,其表面涂有美國(guó)進(jìn)口1750℃氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,同時(shí)延長(zhǎng)使用壽 命。 4、采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié),可設(shè)置30段升降溫程序。 5、爐管兩端裝有不銹鋼密封法蘭、真空計(jì)、閥門(mén)。 6、上端密封法蘭內(nèi)部焊有不銹鋼勾,用于懸掛樣品。 7、國(guó)家,并已通過(guò)CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:AC 208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率:3KW 3、石英管:外徑Ø100mm,內(nèi)徑Ø95mm,長(zhǎng)1000mm 4、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲,表面涂有氧化鋯,可延長(zhǎng)期使用壽命 5、加熱區(qū)域:總長(zhǎng)400mm,溫區(qū)I為200mm,溫區(qū)II為200mm(兩個(gè)溫區(qū)可設(shè)置同樣的溫度) 6、恒溫區(qū)域:300mm 7、工作溫度:每個(gè)溫區(qū)1200℃(<> 8、加熱速率:≤20℃/min 9、控溫精度:±1℃ 10、熱電偶:K型熱電偶進(jìn)行測(cè)溫 11、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵) 12、漏氣率:<5mtorr>5mtorr> |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:不含移動(dòng)架550mm×380mm×520mm,含移動(dòng)架600mm×600mm×1200mm 重量:80kg(不含移動(dòng)架) |
可選配件 | 1、鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm 2、防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì) 3、KF25轉(zhuǎn)接頭(可增加抽氣速率,獲得較高的真空) 4、VCR雙卡套接頭(可工作在惰性氣體或還原氣體條件下) 5、高溫絲(摻鉬鐵鉻鋁,可達(dá)1100℃) |
注意事項(xiàng) | 1、爐管內(nèi)的正壓不可高于0.02Mpa。 2、由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥。建議在本司選購(gòu)減壓閥。本司減壓 閥量程為0.01Mpa-0.1Mpa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。 3、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)。 4、進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。 5、石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<> 6、對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān) 注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂、法蘭飛出 等)。 |
質(zhì)量認(rèn)證 | 1、CE認(rèn)證。 2、所有電器元件(>24V)都通過(guò)UL、MET、CSA認(rèn)證。 3、若用戶承擔(dān)認(rèn)證費(fèi)用,本司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TIV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。 |
樣品淬火 |