①SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉,可應(yīng)對大型樣品的觀察
■樣品臺可搭載超大/超重樣品
通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
選配樣品交換倉,可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品,大大提高了工作效率
具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
紅外CCD探測器,提高了樣品臺移動的安全性
■支持全視野移動。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
與GUI聯(lián)合,可配備樣品倉室導(dǎo)航相機
覆蓋整個可觀察區(qū)域
支持360度旋轉(zhuǎn)
②隨著各種自動化功能的強化,操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。
■一個鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI
■各種自動化功能
自動調(diào)整算法經(jīng)改良后,等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
提高了自動聚焦精度
搭載Intelligent Filament Technology(IFT)
■Multi Zigzag,可實現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
■Report Creator,可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告
③可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案
■可滿足多種觀察需求的探測器
搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察
高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器,切換成分/凹凸等多種圖像
■配備了多功能超大樣品倉,可以搭載多種配件
>■SEM/EDS一體化功能*
■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*
■支持圖像測量軟件Image pro
*配件
* 1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm(4x5照片尺寸)的顯示尺寸。
* 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm(1,920 x 1,080像素)的顯示尺寸。
◆ ①標(biāo)配多功能超大樣品倉,支持大型樣品分析
■樣品臺可搭載超大/超重樣品
通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
GUI上顯示更換樣品的操作步驟。可以避免因人為的誤操作而導(dǎo)致樣品污染或損壞。即使是難以檢測高度的凹凸不平的樣品或者是超大樣品,也能夠輕松更換。
樣品交換倉*
選配樣品交換倉,可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品,大大提高了工作效率
具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
SU3800 / SU3900配置了樣品臺自由模式,開放了樣品臺移動的自由度。操作人員可自行判斷,自由移動樣品臺。
※選擇樣品臺自由模式時,請同時選配紅外CCD探測器。
紅外CCD探測器*,提高了樣品臺移動的安全性
紅外CCD探測器是用于監(jiān)控樣品倉內(nèi)部的裝置。通過使用紅外線攝像機,可以在觀察SEM圖像的同時監(jiān)視樣品倉內(nèi)部情況。為了獲得更詳細(xì)的位置,放大CCD圖像,并且移動觀察位置。
*配件
■支持全視野移動,SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
與GUI聯(lián)合,可配備樣品倉室導(dǎo)航相機
與GUI聯(lián)合的SEM MAP,正是因為采用了樣品倉室導(dǎo)航相機,才得以實現(xiàn)廣角相機導(dǎo)航功能*。在SEM MAP上觀察目標(biāo)位置,可以順利地移動到任意位置上。使用大視野相機導(dǎo)航系統(tǒng)拍攝的圖像或外部圖像,通過自由放大或縮小圖像,可以將大視野的彩色圖像切換到高倍率的SEM圖像。
*
覆蓋整個可觀察區(qū)域
相機導(dǎo)航系統(tǒng)通過圖像拼接功能可以實現(xiàn)大視野的SEM MAP觀察。觀察區(qū)域為直徑130mm(SU3800)/ 直徑200mm(SU3900),并且可以與樣品臺R一起聯(lián)動,移動到大型樣品的觀察區(qū)域。
支持360度旋轉(zhuǎn)
SEM MAP操作界面可直觀的顯示樣品與探測器的位置關(guān)系,因此在觀察高度差大的樣品時,可根據(jù)需求旋轉(zhuǎn)樣品臺或電子束來獲得的觀察分析位置,避免陰影效應(yīng)造成的影響。
◆ ②隨著各種自動化功能的強化,操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。
■一個鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI
搭載了簡約UI,簡單操作,如同觸屏般直觀。
從移動樣品臺到樣品觀察,輕輕點擊鼠標(biāo)即可實現(xiàn)
也可觸屏操作
主窗口為1280x960像素的大窗口
可以切換顯示模式,并且同時顯示/拍攝兩種不同的信號
■各種自動化功能
自動調(diào)整算法經(jīng)改良后,等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
樣品安裝完成后,通過自動光路調(diào)整及各種自動功能調(diào)整圖像,隨后可立即獲得樣品圖像。高度自動化功能采用全新設(shè)計的演算程序,在執(zhí)行圖像自動調(diào)整功能時,等待時間縮短到以往的1/ 3以下。
采用了新的算法,提高了自動聚焦精度
全新升級的自動聚焦調(diào)整功能,即使是以往難以調(diào)整的光滑樣品,也能夠輕松得到良好的圖像。
搭載Intelligent Filament Technology(IFT)
自動監(jiān)視燈絲的狀態(tài),自動控制使其一直處于性能的狀態(tài)。
搭載顯示燈絲更換時間的顯示屏。
通過該功能,使得原來難以對應(yīng)的長時間連續(xù)觀察以及數(shù)據(jù)分析等大范圍分析均可以安心實現(xiàn)。
■Multi Zigzag*,可實現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
Multi Zigzag可以自動獲取連續(xù)的視野。可以在不同的視野中拍攝多張高倍率圖像,并使用Viewer功能拼接拍攝的圖像,創(chuàng)建大視野圖像。
*配件
Report Creator,可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告
在Report Creator中,可以將SEM圖像,EDS數(shù)據(jù)和CCD相機圖像等采集的圖像統(tǒng)一整合,生成報告。創(chuàng)建的報告可保存為Microsoft Office®格式。保存的文件可通過Microsoft Office®進(jìn)行編輯。
◆ 礦物的觀察分析案列
顯示了鋯石晶體在相同視野下的觀察結(jié)果。在BSE圖像中很難看清鉻濃度的緩和偏差。但是,在CL圖像中可以確認(rèn)到暗 色區(qū)域是對應(yīng)于錯濃度較高的區(qū)域。
◆ 金屬材料
◆ 陶瓷材料
◆ 電子零件
◆ 生物/醫(yī)藥品