濕氧恒溫柜高溫工藝解決方案

濕氧恒溫柜高溫工藝解決方案

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在使用設備之前，請詳細閱讀使用手冊，并特別注意其中注意事項的內(nèi)容。

只有在使用、維護過程中嚴格遵照制造商的建議，才能使設備的性能達到設計的水準。

嚴禁非專業(yè)人員在設備正常使用時非法進行各類操作。

除非另有約定，本文檔僅作為使用指導，所有陳述、信息和建議不構(gòu)成任何明示或暗示的擔保。

目錄

一、設備簡介

1.1 型號含義............................................................1

1.2 柜體結(jié)構(gòu)圖..........................................................1

1.3 主要功能 2

1.3.1 為機臺做工藝提供濕氧........ 2

1.3.2 源瓶加熱與恒溫.................................................2

1.3.3 源管道伴熱與恒溫................................................2

1.3.4 源瓶液位監(jiān)測....................................................2

1.3.5 源瓶壓力監(jiān)測及保護..............................................2

1.3.6 源瓶定時換水....................................................3

1.3.7 源瓶漏水監(jiān)測....................................................3

1.3.8 超純水水質(zhì)檢測..................................................3

1.3.9 超純水缺乏監(jiān)測..................................................3

1.3.10 廢水收集與外排.................................................3

1.3.11 異常、故障報警..................................................3

1.3.12 與機臺信號對接.................................................4

1.4 使用環(huán)境 5

1.5 技術(shù)參數(shù) 5

1.6 應用配置 6

二、二次配安裝 6

2.1 電源..................................................................6

2.2 空壓氣 6

2.3 氮氣 6

2.4 超純水 6

2.5 排廢水................................................................6

2.6 信號對接...........................................................6

三、系統(tǒng)畫面 7

3.1 首頁 7

3.2 控制界面 8

3.3 參數(shù)設置 9

3.4 報警記錄 10

3.5 換水記錄 11

四、設備操作 12

4.1 狀態(tài)指示 12

4.2 開機操作 12

4.3 手動控制 12

4.4 停機操作 12

五、故障報警 13

六、注意事項 14

6.1 設備操作.............................................................14

6.2 參數(shù)設定 14

6.3 水位調(diào)節(jié) 14

6.4 開門作業(yè) 14

七、應急處理 15

7.1 人體燙傷 15

7.2 源瓶爆裂 15

八、日常巡檢與檢修保養(yǎng) 15

8.1 日常巡檢 15

8.2 檢修保養(yǎng).............................................................15

一、設備簡介

1.1 型號含義

濕氧恒溫柜高溫工藝解決方案

型號：FHWG-JWG6P

含義：F福雪萊；HWG恒溫柜；JW加溫；G光電檢測液位；6P六個源瓶槽位

1.2 柜體結(jié)構(gòu)圖

1.3 主要功能

1.3.1 為機臺做工藝提供濕氧（濕氧工藝）

說明：

1、裝有一定量超純水的源瓶水溫加熱到設定溫度并恒溫后，爐管方可做工藝；

2、工藝用氧氣先通入瓶內(nèi)水底鼓泡后再進入爐管反應室。（如下圖）

1.3.2 源瓶加熱與恒溫

說明：

1、由PLC、溫控器、溫度探頭、固態(tài)繼電器、發(fā)熱組件、源瓶液位計等完成控制；

2、源瓶開關打開后(即自動運行)，如瓶內(nèi)水量達到低液位則加熱直到設定溫度并恒溫；

3、加熱異常、恒溫異常、溫度探頭異常、溫度異常均報警輸出。

1.3.3 源管道伴熱與恒溫

說明：

1、由PLC、溫控器、溫度探頭、固態(tài)繼電器、伴熱帶等完成控制；

2、源瓶開關打開后(即自動運行)，如瓶內(nèi)水量達到低液位則加熱直到設定溫度并恒溫；

3、加熱異常、恒溫異常、溫度探頭異常、溫度異常均報警輸出。

1.3.4 源瓶液位監(jiān)測

說明：

1、每個源瓶均安裝有高、低光電液位計（位置可調(diào)）；

2、正常使用時液位為低液位至高液位之間；

3、液位低于低液位為異常并報警輸出。

1.3.5 源瓶壓力監(jiān)測及保護

說明：

1、每個源瓶均安裝有泄壓閥及壓力傳感器；

2、當源瓶內(nèi)壓力≥設定壓力時，自動打開泄壓閥泄壓；

3、當源瓶內(nèi)壓力持續(xù)≥設定壓力時，壓力異常報警輸出。

1.3.6 源瓶定時換水

說明：

1、每個源瓶內(nèi)的水都可以通過設定時間周期性換水；

2、換水時需要滿足條件：自動運行+定時時間已到+工藝剛結(jié)束；

3、換水時需要先將瓶內(nèi)原水排干，利用氮氣加快地排水及吹掃；

4、源瓶排水的同時打開超純水過水閥進行水質(zhì)檢測；

5、每次換完水自動重新計時；

6、水質(zhì)檢測合格后，方可往源瓶灌水。

1.3.7 源瓶漏水監(jiān)測

說明：

1、柜內(nèi)源瓶分兩層放置，每層3個，每層一個接水盤，上下接水盤串接后引管到蓄水池；

2、接水盤管道上安裝非接觸式液位計；

3、當源瓶漏水或爆裂時，水會流到接水盤順著管道流到蓄水池，液位計感應到信號后發(fā)出報警。

1.3.8 超純水水質(zhì)檢測

說明：

1、源瓶每次灌水時（包括手動操作）都需要xian進行水質(zhì)檢測，合格之后才可以往源瓶內(nèi)灌水；

2、水質(zhì)檢測可以自動也可以手動，每過水5min后檢測一次，如合格則不再進行過水檢測；

3、如水質(zhì)連續(xù)三次檢測不合格，發(fā)出水質(zhì)異常報警，需要人工確認復位。

1.3.9 超純水缺乏監(jiān)測

說明：

1、超純水管道進入柜內(nèi)后分兩路走：一路去到源瓶的補水閥（源瓶灌水）；一路經(jīng)過水閥后接到蓄水池（水質(zhì)檢測過水）；

2、過水閥前面管道上安裝非接觸式液位計；

3、當超純水缺乏時，液位計感應到信號后發(fā)出報警。

1.3.10 廢水收集與外排

說明：

1、源瓶換水時原水排放需要容器收容（蓄水池）；

2、超純水水質(zhì)檢測每次過水5min，需要容器收容（蓄水池）；

3、蓄水池上安裝電極式液位計及排水泵；

4、當蓄水池液位上升到高液位時啟動排水泵外排廢水，排水泵也可以手動控制；

1.3.11 異常、故障報警

說明：

1、當設備發(fā)生任何異常或故障時均發(fā)出報警；

2、報警的方式：a、蜂鳴器；b、顯示屏；c、傳上位機；

1.3.12 與機臺信號對接

說明：

1、1～6#管工藝狀態(tài)信號，繼電器常開觸點，用于判斷是否在工藝；

2、1～6#管不工藝狀態(tài)信號，繼電器常開觸點，用于判斷工藝是否結(jié)束；

3、1～6#源瓶換水請求信號，繼電器常開觸點，直到換水完成，用于告知機臺源瓶在換水；

4、水質(zhì)合格信號，繼電器常開觸點，直到換水完成，用于告知機臺此次換水水質(zhì)檢測合格；

5、1～6#源瓶恒溫就緒信號，繼電器常開觸點，用于告知機臺換水完成且加熱恒溫可以開始做工藝；

6、1～6#源瓶溫度異常信號，繼電器常閉觸點，用于告知機臺該源瓶溫度波動異常；

7、1～6#源瓶高液位信號，繼電器常閉觸點，用于告知機臺該源瓶出現(xiàn)高液位；

8、1～6#源瓶低液位信號，繼電器常閉觸點，用于告知機臺該源瓶出現(xiàn)低液位；

9、源瓶漏水信號，繼電器常閉觸點，用于告知機臺柜內(nèi)有源瓶漏水；

1.4 使用環(huán)境

1、地面平整，通風良好；

2、周圍無強烈振動；

3、周圍無強電磁場影響；

4、周圍無易燃、易爆、腐蝕性物質(zhì)和粉塵；

5、周圍留有足夠的使用及維護空間；

6、環(huán)境溫度：10℃～45℃；

7、環(huán)境濕度：≤80%RH。

1.5 技術(shù)參數(shù)

1.6 應用配置

二、二次配安裝

2.1 電源：三相交流380V、50Hz、約3.5KW；

2.2 空壓氣：6-8公斤壓力；

2.3 氮氣：2-3公斤壓力；

2.4 超純水進水管：4/1鐵氟龍管；

2.5 蓄水池排水管：內(nèi)徑8MM軟管；

2.6 信號對接。

三、系統(tǒng)畫面

3.1 首頁

? 用戶登錄：點擊登錄現(xiàn)有用戶賬號，屏幕右上角顯示當前登錄“用戶名”；系統(tǒng)出廠自帶用戶賬號有（管理員、工程師、操作員），均無密碼選好用戶點擊登錄即可，用戶可根據(jù)需要自行創(chuàng)建密碼以及登錄注銷時間。

? 注意: 設備使用及操作應使用賬號權(quán)限分配并做好管理，“管理員”賬號擁有zui高權(quán)限應由設備負責人掌管；自行創(chuàng)建的賬號密碼要記得，否則后續(xù)將無法登錄該賬號。

? 用戶注銷：點擊注銷當前登錄的用戶賬號，屏幕右上角顯示當前登錄“無用戶”。

? 用戶編輯：點擊修改、增加、刪除用戶賬號信息，操作前需要先登錄“管理員”賬號（擁有zui高權(quán)限），不能刪除“管理員”賬號。

? 控制界面：點擊進入控制界面畫面。

? 參數(shù)設置：點擊進入?yún)?shù)設置畫面。

? 報警記錄：點擊進入報警記錄畫面。

? 換水記錄：點擊進入換水記錄畫面。

? 所有子畫面屏保時間內(nèi)（預設3min，可在參數(shù)畫面修改）持續(xù)無操作均會退出返回到首頁畫面，然后息屏。

3.2 控制界面

? 源瓶溫度：顯示當前源瓶溫度值。

? 伴熱溫度：顯示當前源管道伴熱溫度值。

? 瓶內(nèi)壓力：顯示當前源瓶內(nèi)壓力值。

? 換水計時：顯示源瓶到達下一次換水的剩余時間。

? 蜂鳴器：在設備有故障報警且短時間內(nèi)無法處理平息情況下可以點擊圖標進行關閉止鬧，正常運行中請打開，能夠及時發(fā)現(xiàn)設備故障。

? 照明：某些情況下照明自動打開，可點擊圖標手動開/關操作。

? 閥門開關：源瓶不使用狀態(tài)下可點擊圖標手動開/關操作。

? 源瓶開關：點擊源瓶圖標可切換源瓶使用狀態(tài)，顯示禁用圖標為不使用狀態(tài)，不顯示禁用圖標為使用狀態(tài)；使用狀態(tài)（即自動運行狀態(tài)）可以正常加熱、恒溫、自動換水及顯示相關報警等；不使用狀態(tài)則相反。

? 蓄水池圖標：蓄水池變成綠色為蓄水池滿水狀態(tài)，會自動排水，如長時間為綠色請檢查相關故障；排水泵可點擊圖標手動啟/停操作。

? 源瓶高低水位：源瓶的高、低液位檢測（阻擋時動作），源瓶兩側(cè)會顯示相應標識以及源瓶變綠色。

? 過水時間、次數(shù)、電導率、水質(zhì)結(jié)果：顯示水質(zhì)檢測過程。

? 4～6管：切換到4～6管源瓶的控制界面。

? 異常確認：當水質(zhì)檢測連續(xù)三次不合格時，會報水質(zhì)異常，需要人工確認復位。

? 返回首頁：點擊返回首頁。

3.3 參數(shù)設置

? 加熱溫度偏差設定：設定源瓶恒溫后溫度波動報警偏差值。

? 伴熱溫度偏差設定：設定伴熱帶恒溫后溫度波動報警偏差值。

? 源瓶1～6加熱設定溫度：黑色框為設定恒溫溫度，紅色框為顯示是否設定成功。

? 管道1～6伴熱設定溫度：黑色框為設定恒溫溫度，紅色框為顯示是否設定成功。

? 統(tǒng)一第yi組設定：設定好第yi組源瓶溫度值（加熱與伴熱），然后點擊此按鍵，再點擊“寫入并保存”（稍微按長點）就可以統(tǒng)一設定1～6源瓶和伴熱帶恒溫溫度值。

? 源瓶泄壓設定：設定源瓶壓力泄壓值，當瓶內(nèi)壓力≥泄壓值自動泄壓。

? 合格電導率設定：設定水質(zhì)檢測合格的電導率值，≤設定值為合格，方可往源瓶灌水。

? 換水超時時間設定：設定源瓶換水時間，超過換水時間會報警提示，應檢查原因。

? 出現(xiàn)低液位繼續(xù)排水時間設定：源瓶排原水的過程中，以出現(xiàn)低液位為節(jié)點估算多久排完，以停止排水動作。

? 源瓶換水周期設定：設定源瓶的換水周期時間；計時時間到：如此時爐管在工藝，則等工藝一結(jié)束就開始自動換水；如不在工藝狀態(tài)那就等下次工藝結(jié)束再自動換水；每次換完水自動重新計時。

? 源瓶1～6計時開始：顯示源瓶1～6換水結(jié)束后的日期時間。

? 重新計時：按下重新計時。

? 寫入并保存：寫入并保存當前的設定數(shù)值，需要稍微長按。

? 返回首頁：點擊返回首頁。

3.4報警記錄

? 報警記錄：可以查看過去發(fā)生的報警事件，下方有記錄總條數(shù)。

? 表格控件：點擊可使表格內(nèi)容上下移動和刷新記錄便于查看。

? 返回首頁：點擊返回首頁。

3.5 換水記錄

? 換水記錄：可以查看當下或過去發(fā)生的換水事情動作過程。

? 表格控件：點擊可使表格內(nèi)容上下移動和刷新記錄便于查看。

? 返回首頁：點擊返回首頁。

四、設備操作

4.1 狀態(tài)指示

1、綠燈常亮：1～6源瓶開關任何開啟且設備無gu障報警；

2、黃燈閃亮：源瓶自動換水時的灌水過程且無gu障報警；

3、黃燈常亮：源瓶自動換水時的排水過程且無gu障報警；

4、紅燈常亮：設備停止狀態(tài)且無gu障報警；

5、紅燈閃亮 + 蜂鳴器：故障報警狀態(tài)。

4.2 開機操作

1、檢查電源配線、接線是否正確及電源電壓是否正常（第yi次上電）；

2、合上柜內(nèi)電源總空開、排水泵開關、控制回路開關以及選擇各路源瓶開關 ；

3、合上柜子操作面板上的電源開關 ；

4、進入?yún)?shù)設置畫面設置好各項參數(shù)（第yi次使用需要設置，參數(shù)具有斷電保持功能）；

5、水質(zhì)檢測合格后給源瓶灌水，灌到高液位停止，最終液位可以通過補水閥和排水閥來調(diào)整（第yi次建議手動灌水，因為自動灌水涉及到的條件多且邏輯復雜）；操作如下圖：

6、進入控制界面選擇使用哪個源瓶（未使用顯示禁用圖標，使用后禁用圖標消失）；

7、源瓶使用后（即自動運行），會加熱與恒溫、有異常時會報警、后續(xù)會按設定的換水周期自動換水；

8、緊急情況誒需要請按急停開關（停止所有源瓶使用及控制輸出）。

4.3 手動控制

1、每個閥門都可以通過點擊圖標開/關控制：提前條件是對應的源瓶處于停止狀態(tài)以及符合操作權(quán)限等級；

2、蜂鳴器、照明、蓄水池排水泵可以隨時點擊圖標手動操作。

4.4 停機操作

1、關閉各個源瓶開關（顯示禁用圖標） ；

2、斷開柜子操作面板上的電源開關（短時停機） ；

3、斷開柜子操作面板上的電源開關以及柜內(nèi)所有開關（長時停機）。

五、故障報警

提示：遇到無法解決的問題時請聯(lián)系設備廠家！

六、 注意事項

6.1 設備操作

1、人員未經(jīng)培訓，不得操作設備；

2、非專業(yè)人員，不得操作設備電氣部分；

3、上電開機前應該檢查設備是否具備條件（如在檢修中，不能操作）；

4、第yi次上電，先檢查電源接線、電壓是否正常，否則可能造成設備嚴重損壞；

5、除了可操作的部位，其它地方不可觸碰，避免觸電或其它危險。

6.2 參數(shù)設定

1、參數(shù)具有斷電保存功能，無需每次開機都要設置，除了需要修改；

2、參數(shù)設置要合理，不能過大或過小；如源瓶泄壓壓力，過大起不到保護作用會爆瓶，過小又不合理，會影響工藝。

6.3 水位調(diào)節(jié)

1、源瓶具有高低液位兩組探頭；

2、調(diào)節(jié)過程中，位置不能相反；

3、高低液位調(diào)節(jié)合理，否則可能會影響工藝。

6.4 開門作業(yè)

1、柜內(nèi)有源瓶加熱系統(tǒng)溫度較高（或高于70℃）；

2、開門作業(yè)時需要做好防護防止人體被高溫燙傷。

七、應急處理

7.1 人體燙傷

1、車間里面應該配有急求箱；

2、及時對燙傷部位進行降溫消毒處理，然后上藥包扎好；

3、嚴重者應該到醫(yī)院進一步檢查和治療。

7.2 源瓶爆裂

1、停止工藝；

2、關閉該路電源開關；

3、關閉源瓶開關（停止自動）；

4、做好防護，然后開門更換源瓶；

5、換好源瓶重新灌水、加熱到恒溫；

6、檢查整體沒問題后重新做工藝。

八、日常巡檢與檢修保養(yǎng)

8.1 日常巡檢

1、看：觀察設備整體是否有異樣（如漏水、冒煙等），特別是報j燈；

2、聽：設備是否有異常聲音（如漏氣、水流等），特別是報警蜂鳴器；

3、如有異常故障，及時發(fā)現(xiàn)和處理。

8.2 檢修保養(yǎng)

1、設備正常使用時檢修周期為每年一次，檢修內(nèi)容包括柜內(nèi)主要部件、儀表的檢查、校準、清潔、維修、更換等。