劃痕深度 | ||
---|---|---|
精細(xì)量程 | 量程 | |
位移 [μm] | 100 | 1000 |
位移分辨率 [nm] | 0.05 | 0.5 |
本底噪音 [rms] [nm]* | 1.5 |
法向載荷 | ||
---|---|---|
精細(xì)量程 | 量程 | |
載荷 [N] | 10 | 30 |
載荷分辨率 [mN] | 0.01 | 0.03 |
本底噪音 [rms] [μN]* | 100 |
摩擦力 | ||
---|---|---|
精細(xì)量程 | 量程 | |
摩擦力 [N] | 10 | 30 |
摩擦力分辨率 [mN] | 0.01 | 0.03 |
劃痕深度 | ||
---|---|---|
精細(xì)量程 | 量程 | |
位移 [μm] | 100 | 1000 |
位移分辨率 [nm] | 0.05 | 0.5 |
本底噪音 [rms] [nm]* | 1.5 |
法向載荷 | ||
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精細(xì)量程 | 量程 | |
載荷 [N] | 10 | 30 |
載荷分辨率 [mN] | 0.01 | 0.03 |
本底噪音 [rms] [μN]* | 100 |
摩擦力 | ||
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精細(xì)量程 | 量程 | |
摩擦力 [N] | 10 | 30 |
摩擦力分辨率 [mN] | 0.01 | 0.03 |
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