桌面型、可中試生產(chǎn)、模擬生產(chǎn)條件的等離子體清洗設(shè)備,幾乎具備等離子體清洗設(shè)備所有的功能。具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積,使用成本低,性價(jià)比高,易維護(hù),處理快速高效,特別適合于大學(xué),科研院所和光電企業(yè)實(shí)驗(yàn)室小批量中試生產(chǎn)。
產(chǎn)品特點(diǎn):
u 可模擬生產(chǎn)條件,便于小批量中試生產(chǎn)。
u 桌面型,占用空間小。
u 性能穩(wěn)定,操作簡(jiǎn)便,使用成本低,易于維護(hù),性價(jià)比高。
u 有效處理面積大,可處理8寸硅片去膠等應(yīng)用。
u 可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品,進(jìn)行清洗和改性。