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UL1000Fab干式氦氣檢漏儀

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公司名稱深圳市萬德泉科技有限公司
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廠商性質(zhì)其他
更新時間2023/12/16 8:45:21
訪問次數(shù)215

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深圳市萬德泉科技有限公司是一家集真空技術(shù)開發(fā)、應(yīng)用與貿(mào)易于一體的專業(yè)公司。產(chǎn)品廣泛運用于真空行業(yè)、鍍膜、太陽能、半導(dǎo)體、科學(xué)研究、電力行業(yè)、航空航天、制造等領(lǐng)域。作為多家的真空設(shè)備及真空儀器供應(yīng)商的代理商，我們可以為客戶提供的全套真空解決方案，解決客戶真空應(yīng)用的難題，并且使客戶的成本降到。我們代理銷售的產(chǎn)品如下：瑞士Inficon （英?？担┠ず窨刂苾x及探頭、石英晶振片、真空計、檢漏儀、殘余氣體分析儀、真空閥門、真空連接件。美國Agilent（安捷倫，原瓦里安）渦旋式干泵、分子泵、氦質(zhì)譜檢漏儀。英國Edwards （愛德華）旋片泵、渦旋干式泵、分子泵、真空規(guī)管。瑞士VAT插板閥、閘閥、蝶閥、角閥等全系列真空閥門。日本Hitachi Metals(原Aera）質(zhì)量流量控制器。美國MKS質(zhì)量流量控制器。美國SRS 四級質(zhì)譜殘余氣體分析儀。美國Keyhigh 陶瓷壓電閥。韓國ONE C TECH低溫冷肼、壓縮機和冷媒銷售美國Angstromsciences磁控濺射陰極、靶材、反應(yīng)氣體控制器。我們能提供維修業(yè)務(wù)的產(chǎn)品包括：MDC-360C/IC5/XTC2/SQC310/IC6/XTC3/等膜厚控制儀維修、inficon真空計維修，Edwards真空泵維修、inficon檢漏儀維修、AERA流量計維修。

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UL1000Fab干式氦氣檢漏儀干式氦氣檢漏儀 UL1000 FabULTRATEST™ 傳感器技術(shù) 穩(wěn)定性和靈敏度的新疆界，檢漏低達 10 -12 atm/css The INFICON UL1000 Fab 移動式氦氣檢漏儀特別設(shè)計用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性，UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)。通過結(jié)合較高氦氣......

UL1000Fab干式氦氣檢漏儀產(chǎn)品信息

干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab

ULTRATEST™ 傳感器技術(shù)

穩(wěn)定性和靈敏度的新疆界，

檢漏低達 10 -12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移動式氦氣檢漏儀特別設(shè)計用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性，UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)。

通過結(jié)合較高氦氣抽氣能力和高進氣口壓力的真空結(jié)構(gòu)，UL1000 Fab 提供的的泄漏率低達 < 5x10-12 atm cc/s。專利軟件 I-CAL（智能泄漏率計算法）讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時較長反應(yīng)時間的煩惱，因為 UL1000 Fab 能夠?qū)λ行孤┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。

使用額外的 TC1000 測試盒配件，UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速、精確的測試，如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù) MIL-STD 883，方法 1014）。

功能

15 級的寬測量范圍
較短的抽氣和響應(yīng)時間
移動式全金屬外殼，增加了便利性，具有可操作性
I-CAL 確保了在所有測量范圍中提供的泄漏響應(yīng)時間
抑零功能和自動積分時間校正，可提供快速、可靠的測試結(jié)果
含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計，提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比
旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許簡單、輕松控制裝置以及與其進行交互
自保護功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
自動吹掃循環(huán)可確保清理并隨時可進行測試
通過電子郵件進行軟件更新
含兩個燈絲離子源（3 年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運行時間和較低的維護成本
內(nèi)部校準用的內(nèi)置測試漏孔確保了精確的測試結(jié)果

典型應(yīng)用

對半導(dǎo)體加工工具執(zhí)行維護作業(yè)，無論是否具有自有泵支持
需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應(yīng)用
在現(xiàn)有工具中安裝前對部件執(zhí)行檢漏
工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
內(nèi)置軟件菜單“自動測漏”功能可使用 TC1000 測試盒執(zhí)行密封組件的自動測試

零件號

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件號	明細
550-100A	ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A	ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

規(guī)格

類型		Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦氣（真空模式）可檢漏率	mbar?L/s	<5E-12
氦氣（真空模式）可檢漏率	mbar?L/s	<5E-12
氦氣（吸槍模式）可檢漏率	mbar?L/s	8E-8
GROSS 模式進氣口壓力	mbar	15
FINE 模式進氣口壓力	mbar	2
ULTRA 模式進氣口壓力	mbar	0.4
抽真空期間的抽氣能力	m3/h	25 at 50 Hz
GROSS 模式氦氣抽氣能力	L/s	max. 8
FINE 模式氦氣抽氣能力	L/s	7
ULTRA 模式氦氣抽氣能力	L/s	2.5
可檢測質(zhì)量數(shù)		2,3,4 amu
質(zhì)譜儀扇形場		180°
燈絲離子源銥/氧化釔涂層		2
內(nèi)置校準漏孔	mbar?L/s	e-7
測試端口	DN 25 KF	1
可調(diào)觸發(fā)器		2
接口		RS 232
圖形記錄器輸出	V	2 x10
輸入/輸出		PLC compatible
允許的環(huán)境溫度（操作過程中）	°C	+10.....+40
保護類型		IP 20
重量	kglb.	110
尺寸（長x寬x高）	mmin.	1068x525x850
電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
功耗	VA	1100