RF射頻電源主要技術(shù)參數(shù):
功率輸出范圍 | 0-500W |
反射功率 | 200W |
工作頻率 | 射頻:13.56MHZ±0.005% |
功率穩(wěn)定度 | +/-0.1% |
諧波分量 | ≤-50dbc |
射頻區(qū)域?qū)挾?/p> | 0-600mm 可調(diào) |
匹配方式 | 自動 |
冷卻方式 | 分冷 |
噪聲 | <50dB |
射頻接口 | 50Ω N-type |
輸入電源 | 208-240V 50/60HZ |