| 從380nm~1050nm的可視光至近紅外實(shí)現(xiàn)大范圍波長(zhǎng)區(qū)域中的分光測(cè)定 奧林巴斯的近紅外顯微分光測(cè)定儀USPM-RU-W可以高速&高精細(xì)地進(jìn)行可視光區(qū)域至近紅外區(qū)域的大范圍波長(zhǎng)的分光測(cè)定。 由于其可以很容易地測(cè)定通常的分光光度計(jì)所不能測(cè)定的細(xì)微區(qū)域、曲面的反射率，因此十分適用于光學(xué)元件與微小的電子部件等產(chǎn)品。 | |
實(shí)的測(cè)定功能
使用一臺(tái)即可進(jìn)行反射率、膜厚、物體顏色、透過率、入射角45度反射率的各種分光測(cè)定。
測(cè)定反射率
測(cè)定以物鏡聚光φ17～70μm的微小點(diǎn)的反射率。
反射率測(cè)定光路圖
反射率測(cè)定例：鏡片 反射率測(cè)定例：鏡片周邊部位
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膜厚測(cè)定的圖例 | 測(cè)定膜厚 |
| | 測(cè)定物體顏色 |
測(cè)定透過率
從受臺(tái)下部透過φ2mm的平行光，測(cè)定平面樣品的透過率。（選配）
透過率測(cè)定光路圖
測(cè)定入射角為45度的反射率
從側(cè)面向45度面反射φ2mm的平行光，測(cè)定其反射率。（選配）
45度反射率測(cè)定光路圖
域的高精度&高速測(cè)定
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光學(xué)系圖 | 實(shí)現(xiàn)高速測(cè)定 使用平面光柵及線傳感器進(jìn)行全波長(zhǎng)同時(shí)分光測(cè)定，從而實(shí)現(xiàn)高速測(cè)定。 |
| 反射率測(cè)定圖例
| *適用于測(cè)定細(xì)小部件、鏡片的反射率 |
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消除背面反射光的原理 | 定反射率時(shí)，不需要背面防反射處理 |
可選擇的膜厚測(cè)定方法
根據(jù)測(cè)定的分光反射率數(shù)據(jù)進(jìn)行單層膜或多層膜的膜厚解析?？梢愿鶕?jù)用途選擇*佳的測(cè)定方法。
峰谷法膜厚解析經(jīng)過信息圖例
峰谷法
這是一種根據(jù)測(cè)定的分光反射率值的峰值與低谷的周期性計(jì)算出膜厚的方法，對(duì)于測(cè)定單層膜是有效的。不需要復(fù)雜的設(shè)置，可以簡(jiǎn)單地求出。
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傅里葉轉(zhuǎn)換法膜厚解析經(jīng)過信息圖例 | 傅里葉轉(zhuǎn)換法 這是一種根據(jù)測(cè)定的分光反射率值的周期性計(jì)算膜厚的方法，對(duì)于單層膜及多層膜的測(cè)定有效。難以檢測(cè)出峰值及低谷等時(shí)，可以幾乎不受噪音的影響進(jìn)行解析。 |
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曲線調(diào)整法膜厚解析經(jīng)過信息圖例 | 曲線調(diào)整法
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多樣化應(yīng)用
高速、高精度地應(yīng)對(duì)多樣化測(cè)定需求。
| | 通過測(cè)定球面、非球面的鏡片、濾鏡、反射鏡等光學(xué)元件的反射率，進(jìn)行涂層評(píng)價(jià)、物體顏色測(cè)定、膜厚測(cè)定。 數(shù)碼相機(jī)鏡片 投影儀鏡片光讀取頭鏡片 眼鏡片 |
| | 適用于LED反射鏡、半導(dǎo)體基板等微小電子部件的反射率測(cè)定、膜厚測(cè)定。 半導(dǎo)體基板 |
| | 適用于平面光學(xué)元件、彩色濾鏡、光學(xué)薄膜等的反射率測(cè)定、膜厚測(cè)定、透過率測(cè)定。 光學(xué)薄膜 |
| | 適用于棱鏡、反射鏡等45度入射產(chǎn)生的反射率測(cè)定。 反射鏡 |
USPM-RU-W近紅外顯微分光測(cè)定儀規(guī)格：
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| 反射率測(cè)定 | 透過率測(cè)定*1 | 45度反射測(cè)定*1 | ||
| 名稱 | 近紅外顯微分光測(cè)定儀 | 近紅外顯微分光測(cè)定儀用 透過測(cè)定選配件 | 近紅外顯微分光測(cè)定儀用 45度反射測(cè)定選配件 | ||
| 型號(hào) | USPM-RU-W | ||||
| 測(cè)定波長(zhǎng) | 380～1050nm | ||||
| 測(cè)定方法 | 對(duì)參照樣品的比較測(cè)定 | 對(duì)99%基準(zhǔn)的透過率測(cè)定 | 對(duì)參照樣品的比較測(cè)定 | ||
| 測(cè)定范圍 | 參照下列對(duì)物鏡的規(guī)格 | 約?2.0mm | |||
| 測(cè)定 再現(xiàn)性（3σ）*2 | 反射率測(cè)定 | 使用10×、20×物鏡時(shí) | ±0.02[%]以下（430-1010nm）、 ±0.2[%]以下（上述以外） | ±1.25[%]以下（430-1010nm）、 ±5.0[%]以下（左側(cè)記載除外） | |
| 使用40×物鏡時(shí) | ±0.05[%]以下（430-950nm）、 ±0.5[%]以下（上述以外） |
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| 厚膜測(cè)定 | ±1% | - | |||
| 波長(zhǎng)顯示分解能 | 1nm | ||||
| 照明附件 | 專用鹵素?zé)艄庠础?JC12V 55W（平均壽命700h） | ||||
| 位移受臺(tái) | 承載面尺寸：200(W)×200(D)mm 承重：3 kg 工作范圍：(XY) ±40mm, (Z)125mm | ||||
| 傾斜受臺(tái) | － | 承載面尺寸： 140(W)×140(D)mm 承重： 1 kg 工作范圍：(XT) ±1°, (YT) ±1° | |||
| 裝置質(zhì)量 | 主體：約26 kg（PC除外） | 主體：約31 kg（PC除外）*3 | |||
| 控制電源箱：約6.7kg | |||||
| 裝置尺寸 | 主體部位：360(W)×446(D)×606(H)mm | 主體部位：360(W)×631(D)×606(H)mm | |||
| 控制電源箱：250(W)×270(D)×125(H)mm | |||||
| 電源規(guī)格 | 輸入規(guī)格：100-240V (110VA) 50/60Hz | ||||
| 使用環(huán)境 | 水平無振動(dòng)的場(chǎng)所 溫度：15～30℃ 濕度：15～60％RH（無結(jié)露） | ||||
*1 選件組件 *2 本社測(cè)定條件下的測(cè)定 *3 裝配透過率測(cè)定套件與45度反射測(cè)定套件的總重量為33kg。
| 對(duì)物鏡 | |||
| 型號(hào) | USPM-OBL10X | USPM-OBL20X | USPM-OBL40X |
| 倍率 | 10x | 20x | 40x |
| NA | 0.12 | 0.24 | 0.24 |
| 測(cè)定范圍*4 | 70μm | 34μm | 17μm |
| 工作距離 | 14.3mm | 4.2mm | 2.2mm |
| 樣品的曲率半徑 | ±5mm～ | ±1mm～ | ±1mm～ |
*4 點(diǎn)徑
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