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多用途ECR微波等離子體系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地成都市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2023/11/9 10:52:18
  • 訪問次數(shù)118
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        成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司(和瑞)是一家專業(yè)從事微波能和微波等離子體應(yīng)用技術(shù)科研,開發(fā)和生產(chǎn)的股份制民營高科技企業(yè)。和瑞擁有一支集高頻,微波和等離子體技術(shù)、電氣自控技術(shù)、機(jī)械以及成套工程技術(shù)和高級管理相結(jié)合的精干技術(shù)隊(duì)伍和高級管理人材。其中包括有教授級高工、微波和電氣高級工程師、獲得美國MBA的高級經(jīng)濟(jì)師、工程師、高級技師和碩士研究生等。和瑞具有微波網(wǎng)絡(luò)分析儀等完善的測試手段,計(jì)算機(jī)CAD系統(tǒng),多種*的微波和等離子體實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)以及必要的工藝和機(jī)械加工裝配手段。和瑞具備了從理論設(shè)計(jì)、數(shù)字模擬、到研制和開發(fā)以及專業(yè)化生產(chǎn)的優(yōu)勢能力。和瑞具有可靠的材料,元器件供貨渠道和外協(xié)加工配套基地。和瑞主要成員與美國*公司合作多年,將*的技術(shù)和理念直接引進(jìn)國內(nèi),并經(jīng)過十余年堅(jiān)持不懈的研究和開發(fā),已經(jīng)在微波能工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域以及微波等離子體*領(lǐng)域形成了一套具有自主知識產(chǎn)權(quán)的系列產(chǎn)品和技術(shù),在國內(nèi)居*地位,并已與國內(nèi)近百家用戶有著密切的合作關(guān)系和良好的信譽(yù)。
 

微波設(shè)備
多用途ECR微波等離子體系統(tǒng)成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司是一家專業(yè)從事微波能和微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)。公司目前已擁有一支集高頻,微波和等離子體技術(shù)、電氣自控技術(shù)、機(jī)械以及成套工程技術(shù)和高級管理相結(jié)合的精干技術(shù)隊(duì)伍。其中包括有教授級高工、機(jī)械和電氣高級工程師、經(jīng)濟(jì)師、工程師、高級技師和碩士研究生等。和瑞具有完備的測試手段,包括微波網(wǎng)絡(luò)分析儀,計(jì)算機(jī)CAD和仿真系統(tǒng),多種*的微......
多用途ECR微波等離子體系統(tǒng) 產(chǎn)品信息
性能特點(diǎn)

◆多端口、雙層水冷結(jié)構(gòu)的大容積放電腔。
◆高密度、高電離度、大面積均勻穩(wěn)定的微波放電。
◆微波功率輸出穩(wěn)定性高。
◆適合金剛石等多種薄膜的化學(xué)汽相沉積的研究和中試加工;基片的刻蝕和灰化;作為高密度、寬束離子源;低溫氧化物的生長;等離子體表面處理和其它實(shí)驗(yàn)加工。
◆性能*,安全、可靠性強(qiáng)、重現(xiàn)性好,操作簡便。
◆多參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)測、采集與記錄,計(jì)算機(jī)控制,多重聯(lián)鎖保護(hù)與報(bào)警。

技術(shù)指標(biāo)
(1) 型號 HMEP-2030C
(2) 電源 AC380±10% V 三相五線制 50Hz
(3) 微波輸出功率 0.3~3kW 連續(xù)可調(diào)
(4) 功率穩(wěn)定度 ≤±1%(@額定功率)
(5) 紋波 ≤1%
(6) 微波頻率 2450MHz±50MHz
(7) 磁場 >875GS
(8) 磁場電源 50V 150A
(9) 極限真空度 6×10-6torr
(10) 工作氣氛 四路(可用戶定制)
(11) 微波泄漏值 <5mW/cm2
(12) 工作環(huán)境 溫度15~40℃,相對濕度≤60%,無腐蝕性氣體
(13) 冷卻水 >10L/Min
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