◆1kW、2kW、3 kW、5 kW、10kW、15kW等型號的產(chǎn)品,采用大功率水冷磁控管,性能*,工作可靠。
◆采用單片機(jī)與調(diào)整管和輔助線圈組成的自控設(shè)計(jì)方案,同時(shí)運(yùn)用燈絲降壓線路,實(shí)現(xiàn)微波輸出功率低波紋,連續(xù)可調(diào),它具有穩(wěn)定性高,壽命長,保護(hù)措施完善,操作簡單等特點(diǎn)
◆提供手動和編程兩種控制方式,數(shù)碼顯示。
◆廣泛地用于CVD金剛石和類金剛石膜、微波等離子體刻蝕、陶瓷燒結(jié)、ECR離子源以及其它系統(tǒng)中所需的微波源。
◆可根據(jù)要求自行選配環(huán)行器、電動銷釘、水負(fù)載、定向耦合器等匹配組件。。
◆多參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)測、采集與記錄,多重聯(lián)鎖保護(hù)與報(bào)警。
型號 | HMG-2010 | HMG-2020 | HMG-2030 | HMG-2050 | HMG-2100 | HMG-2150 |
工作頻率 | 2450MHz±50MHz | |||||
輸出功率 | 0.1~1kw | 0.2~2kw | 0.3~3kw | 0.5~5kw | 0.5~10kw | 0.5~15kw |
功率穩(wěn)定度 | ±1%(滿功率時(shí)) | |||||
功 耗 | 2kW | 3kW | 4.5kW | 8kW | 15kW | 22kW |
電源 | 308VAC±5%/50MHz三相四線 | |||||
冷 卻 水 | 3L/min | 3L/min | 4L/min | 4L/min | 10L/min | 12 L/min |
輸出波導(dǎo) | BJ-26帶FD-26法蘭 | BJ-22帶FD-22法蘭 | ||||
磁控管功率頭 | 外置 | 內(nèi)置 | ||||
微波泄漏 | 符合國家標(biāo)準(zhǔn) |