集優(yōu)異性能、操作簡(jiǎn)便性、多樣化功能于一身
日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性,結(jié)合眾多的自動(dòng)化功能,可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉(cāng),可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察。
產(chǎn)品規(guī)格:
ITEM | SU3800 | SU3900 | |
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二級(jí)電子分解能 | 3.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式) | ||
15.0nm(加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式) | |||
背散射電子分解能 | 4.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式) | ||
倍率 | ×5~×300,000(照片倍率*1) | ||
×7~×800,000(實(shí)際顯示倍率*2) | |||
加速電壓 | 0.3kV~30kV | ||
低真空度設(shè)定 | 6~650 Pa | ||
圖像位移 | ±50µm(WD=10mm) | ||
樣品尺寸 | 200mm直徑 | 300mm直徑 | |
樣品臺(tái) | X | 0~100mm | 0~150mm |
Y | 0~50mm | 0~150mm | |
Z | 5~65mm | 5~85mm | |
R | 360°連續(xù) | ||
T | -20°~+90° | ||
可觀察范圍 | 130mm直徑(R并用) | 200mm直徑(R并用) | |
可觀察高度 | 80mm(WD=10mm) | 130mm(WD=10mm) | |
電機(jī)驅(qū)動(dòng) | 5軸電機(jī)驅(qū)動(dòng) | ||
電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 中心操控式鎢絲發(fā)射 | |
物像鏡頭光圈 | 4孔可動(dòng)光圈 | ||
檢測(cè)系統(tǒng) | 二級(jí)電子檢測(cè)器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器 | ||
EDX分析WD | WD=10mm(T.O.A=35°) | ||
圖像顯示 | 自動(dòng)光軸調(diào)整功能 | 自動(dòng)光束調(diào)整(AFS→ABA→AFC→ABCC) | |
自動(dòng)光軸調(diào)整(實(shí)時(shí)級(jí)別對(duì)齊) | |||
自動(dòng)調(diào)整光束亮度 | |||
自動(dòng)圖像調(diào)整功能 | 自動(dòng)亮度和對(duì)比度控制(ABCC) | ||
自動(dòng)對(duì)焦控制(AFC) | |||
自動(dòng)標(biāo)記和焦點(diǎn)功能(ASF) | |||
自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)整(AFS) | |||
自動(dòng)光束對(duì)準(zhǔn)(ABA) | |||
自動(dòng)啟動(dòng)(HV-ON→ABCC→AFC) | |||
操作輔助功能 | 光機(jī)旋轉(zhuǎn)、動(dòng)態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入(點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量、角度測(cè)量、文本)、預(yù)設(shè)放大、樣品臺(tái)位置導(dǎo)航功能(SEM MAP)、光束標(biāo)記功能 | ||
配件 | ■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測(cè)器(UVD)、紅外CCD探測(cè)器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺(tái)移動(dòng)限制解除功能、EDS集成 | ||
配件(外部裝置) | 能量散射X射線分析儀(EDS)、波長(zhǎng)色散X射線分析儀(WDS)、 各種外部功能臺(tái)(加熱臺(tái)、冷卻臺(tái)、牽引臺(tái)) |
* 1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm(4x5照片尺寸)的顯示尺寸。
* 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm(1,920 x 1,080像素)的顯示尺寸。
產(chǎn)品特點(diǎn):