詳細說明
生產(chǎn)的系列熱工設備:
L4811Ⅱ/RZQ立式真空燒結退火爐
【產(chǎn)品簡介】
真空燒結退火爐是為滿足半導體器件和磁性材料行業(yè)的大批量、高生產(chǎn)率的要求而設計的一種較*的燒結設備,主要用于管芯和管座的燒結,也可以做擴散,退火設備用。是生產(chǎn)半導體器件和磁性材料燒結、退火工序中的重要設備。
【產(chǎn)品特點】
●加熱元件均布爐膛內(nèi),分布合理;
●爐蓋可設有熱風循環(huán)裝置,可使爐罐內(nèi)的氣氛及溫度均勻;
●可配真空泵抽氣,增加換氣速度,氣氛更純凈;
● 有保護氣氛,經(jīng)退火后產(chǎn)品無氧化,消除加工應力,提高鐵心磁性能,降低鐵損;
● 爐溫控制采用PID自動調(diào)功平滑控溫。
【主要技術指標】
| 立式真空燒結退火爐 | 雙工位立式真空燒結爐 | 臥式真空燒結退火爐 |
工作溫度 | 400--1250℃ | 800--1200℃ | 400--1250℃ |
單點溫度控制精度 | ≤±1℃/24h | ≤±2℃/24h | ≤±1℃/24h |
恒溫區(qū)長度及精度 | ≥200mm±1℃ | ≥400mm±1℃ | ≥400mm±1℃ |
升溫功率 | ≤12KVA | ≤22KW | ≤16KVA |
升溫時間 | (室溫至1050℃)≤75min | (室溫至1000℃)≤50min | (室溫至1100℃)<75min |
保溫功率 | ≤6KVA | ≤11KVA | ≤8KVA |
重新定值重復性 | ≤±1℃ | ≤±1℃ | ≤±1℃ |
重開機 重復性 | ≤±1℃ | ≤±1℃ | :≤±1℃ |
冷態(tài) 真空度 | 5*10-3Pa | 3*10-3 Pa | 5*10-3Pa |