| 產(chǎn)品名稱：微位移測(cè)量激光干涉儀 角度擺動(dòng)檢測(cè)干涉儀 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品型號(hào)：ZLM800 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品產(chǎn)地：德國 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 制 造 商：德國耶拿爾測(cè)量技術(shù)有限公司 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 詳細(xì)介紹: | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ZLM800微位移測(cè)量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于微位移部件的測(cè)量，角度變化量的監(jiān)測(cè)，移動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)情況的檢測(cè)，及光刻機(jī)幾何量的測(cè)量，數(shù)控機(jī)床幾何量的測(cè)量，zui多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。具有以下性能優(yōu)勢(shì)： l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，兩個(gè)光束的頻差為640MHz。請(qǐng)用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別。德國耶拿爾公司是為數(shù)不多的雙頻激光干涉儀的制造商，*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。 l 全部部件皆在德國生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。 l 激光器壽命更長，可達(dá)20000小時(shí)，激光穩(wěn)頻精度高，一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。 l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達(dá)±0.4ppm。 l 計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。 l 采樣頻率更快，zui高達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。 l 被測(cè)物體zui大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí)，線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm）。 l 無加速度限制；當(dāng)光線微弱時(shí)，性能也十分穩(wěn)定。 l 信號(hào)延時(shí)<200ns；對(duì)電磁干擾不敏感。 l 對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測(cè)量和微位移測(cè)量，ZLM800型是理想的選擇。 技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用案例 以下是為*設(shè)計(jì)的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個(gè)應(yīng)用案例。在*個(gè)案例中，用兩個(gè)3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個(gè)擺鏡的擺動(dòng)，實(shí)時(shí)測(cè)試兩個(gè)擺鏡對(duì)應(yīng)量（俯仰、偏擺和位移）的差異情況。在第二個(gè)案例中，用一個(gè)3軸角度干涉儀來測(cè)試擺鏡的鏡面擺動(dòng)情況，2個(gè)單軸位移干涉儀檢測(cè)一個(gè)兩軸位移平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)情況。   以下是為國內(nèi)某研究所某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800測(cè)量系統(tǒng)。用戶預(yù)先把被測(cè)物體放置在密閉箱中，密閉箱留有觀察窗口。所需要測(cè)量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標(biāo)Ⅰ、被監(jiān)視目標(biāo)Ⅱ的X、Y向的角度變化量，以及這兩個(gè)目標(biāo)在Z方向的相對(duì)變化量。  ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖    | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司——主要從事各種進(jìn)
口儀器儀表、機(jī)械設(shè)備、電子產(chǎn)品及其配件等的銷售和技術(shù)服務(wù)工作。 為美國Hamar Laser Instruments Inc公司中國總代理，德國JENAer公司中國總代理和匈牙利CE Optics中國總代理。經(jīng)營的主要產(chǎn)品包括激光直線度測(cè)量儀、激光平面度測(cè)量儀、激光平行度測(cè)量儀、激光垂直度測(cè)量儀、孔同軸度檢測(cè)儀、主軸對(duì)中儀、孔對(duì)心軸對(duì)中檢測(cè)儀、激光幾何測(cè)量系統(tǒng)、雙頻激光干涉儀、多點(diǎn)溫度測(cè)量儀、相位波前角色散測(cè)量儀、材料色散測(cè)量儀、載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀，及瑞士Soclair Electronic公司PT-100溫度變送器、熱電偶溫度變送器、高精度電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換器、高精度電流信號(hào)轉(zhuǎn)換器、橋路信號(hào)轉(zhuǎn)換器、頻率變送器、模擬信號(hào)轉(zhuǎn)頻率模塊等。
本公司的激光儀器主要為激光準(zhǔn)直、對(duì)中、校正和系統(tǒng)檢測(cè)。功能包括各種機(jī)械設(shè)備和部件的平面度檢測(cè)、直線度檢測(cè)、平行度檢測(cè)、垂直度檢測(cè)、孔的同軸度檢測(cè)、車床和車削中心的主軸對(duì)中檢測(cè)、聯(lián)軸器和電機(jī)軸的對(duì)中校正檢測(cè)等。廣泛應(yīng)用于機(jī)床加工中心幾何量檢測(cè)、航空航天設(shè)備的組裝和工裝的校正、船舶制造工業(yè)標(biāo)線和艉軸管檢測(cè)、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)同軸度、電廠汽輪機(jī)隔板同軸度、各種印刷造紙注塑設(shè)備輥軸的平行度的檢測(cè)，及機(jī)床的定位、補(bǔ)償和運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的微位移檢測(cè)等。
信號(hào)轉(zhuǎn)換器類儀表用于將各種重量、溫度、壓力、電壓、電流和頻率等信號(hào)轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)的工業(yè)控制信號(hào)，用于系統(tǒng)的集成和控制。廣泛應(yīng)用于機(jī)械和設(shè)備工程、汽車、倉儲(chǔ)、輸送、印刷、門控、化工、冶金、石油、電力、水利、鋼鐵、輕工、制藥、造紙、制革、噴涂、水泥、玻璃、食品、陶瓷、化纖、塑料、飼料、煤炭、紡織、農(nóng)業(yè)和包裝等行業(yè)。歡迎您選購我們代理經(jīng)銷的各種產(chǎn)品，我們將以飽滿的熱情，周到的服務(wù)，客戶*的原則，為您提供滿意的產(chǎn)品和服務(wù)。
雙頻激光干涉儀,多點(diǎn)溫度測(cè)量儀,材料色散測(cè)量儀，相位波前角色散測(cè)量儀，載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀，載波包絡(luò)相移測(cè)量儀，激光對(duì)中儀，激光平面度測(cè)量儀，激光同軸度測(cè)量儀，激光孔位測(cè)量儀
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