結(jié)構(gòu)特點:
單級式減壓結(jié)構(gòu)
膜片與母體采用硬密封形式
母體接口螺紋:1/4” NPT(F)
安全壓力:1.5倍的輸入壓力
適用溫度:-40oF ~ 165oF(-40oC ~ 74oC)
泄露率:2 x 10-8 atm.cc/sec He
CV:0.14
重量:0.9 kg(2.0 lbs)
材質(zhì)
母體:銅電鍍,316L
閥座:PCTFE,PTFE,Vespel®
膜片:316L , Hastelloy® 哈氏合金
適用范圍
半導(dǎo)體制程、實驗室、氣相分析、測試儀表、石油化學(xué)工業(yè)、電廠設(shè)備