工業(yè)型原子力顯微鏡AFM針對產(chǎn)品表面的形貌如粗糙度、局部微觀輪廓等有 納米尺度的檢測能力，提供原子或近原子及分辨率的表面形貌圖像。
工業(yè)型原子力顯微鏡AFM的掃面原理是利用針尖原子與樣品表面原子間存在極微弱的范德華力，得到樣品三維表面形態(tài)影像，包括能夠定量樣品的表面粗糙度 到?等級，此外工業(yè)型原子力顯微鏡AFM還能獲得納米級微觀結(jié)構(gòu)形貌以及表面微觀缺陷等詳細(xì)信息。
工業(yè)型原子力顯微鏡AFM應(yīng)用案例
●硅晶圓表面刻蝕不規(guī)則深孔結(jié)構(gòu)
●SiC晶圓片（碳化硅）
●GaAs晶圓片（砷化鎵）
●GaN晶圓片（氮化鎵）
●藍(lán)寶石外延片（Al2O3）
●玻璃面板、光學(xué)玻璃
●微光學(xué)器件
●芯片刻蝕結(jié)構(gòu)
●高深寬比光柵
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工業(yè)型原子力顯微鏡技術(shù)要求
| 技術(shù)參數(shù) | 設(shè)備 |
| 工作模式 | 1. 輕敲模式（Tapping mode) 2. 接觸模式（Contact mode） 3. 力曲線測量模式（F-Z 曲線，RMS-Z 曲線） |
| 工作方式 | XYZ 三軸均采用壓電陶瓷驅(qū)動探針針尖進(jìn)行掃描，工作掃描時樣品保持不動，樣品大小及重量不受掃描器的限制 |
| 激光掃描頭 | 1. 掃描器：三軸分離式掃描器 2. 掃描范圍：XY 方向≥100um*100um，Z 方向≥10um 3. 噪音水平：系統(tǒng)高度噪音 RMS≤0.05nm 4. 激光器：波長 650nm，光功率≤0.5mW 5. 光電探測器：波長帶寬 400~1100nm，靈敏度 6mV/nm |
| XY樣品臺裝置 | 真空吸附式樣品載物臺，直徑≥200mm；可測試更大樣品直徑≥250mm，更大重量≥15kg； 步進(jìn)電機驅(qū)動控制，可任意編程測試點；樣品邊緣位置測量精度及分 辨率與中心位置保持一致，不受樣品臺移動影響；樣品臺移動行 程 2000*200mm，重復(fù)定位精度 PV 值≤1μm |
| Z向進(jìn)針系統(tǒng) | 樣品趨近方式，智能自動進(jìn)針，步進(jìn)馬達(dá)加壓電陶瓷自動探測的智能進(jìn)針，Z 軸升降行程 15mm |
| 手輪搖桿裝置 | 通過手輪搖桿可六個自由度任意控制樣品臺的移動和樣品的升降，方向和速度均可根據(jù)手感來調(diào)節(jié) |
| 輔助光學(xué)系統(tǒng) | 原位光學(xué)觀測系統(tǒng)，便于原位觀測和選取測試區(qū)域；同軸照明光源設(shè) 計；10X 光學(xué)物鏡和數(shù)字放大；光學(xué)顯微較小分辨率≤1μm |
| 整機光電結(jié)構(gòu) | 龍門架式大理石結(jié)構(gòu)，穩(wěn)定可靠，避免了懸臂梁結(jié)構(gòu)的彈性振動；水平和垂直方向均做了機械平衡性設(shè)計，有效降低剛性結(jié)構(gòu)的固有頻率 |
| 防震隔音系統(tǒng) | 日本進(jìn)口氣浮式減震臺，固有頻率低至 1.5Hz，密閉式隔音箱系統(tǒng)， 使整臺原子力顯微鏡儀器都處在密閉的隔音箱體內(nèi)部工作，可有效抑 |
| 控制器系統(tǒng) | 內(nèi)置 DSP 處理器，嵌入式 PID 自整定智能調(diào)節(jié)器，無需手動設(shè)置，系統(tǒng)自動整定優(yōu)化參數(shù)，以 DSP 技術(shù)為基礎(chǔ)實現(xiàn)數(shù)字反饋控制系統(tǒng) |
| 在線控制軟件 | 具備接觸、輕敲、抬高等多種掃描模式，多種掃描控制、多通道信號同時采集和顯示、具備實時在線圖像重構(gòu)及測量等功能 |
| 圖像分析軟件 | 具有數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能，用戶可取得原始數(shù)據(jù)；圖像同步功能，可多達(dá) 4 個相關(guān)圖像同步處理；用戶任意定義的 24 位系統(tǒng)調(diào)色板；圖像 |
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