MFLPECVD408-12是一款PECVD系統(tǒng)的管式爐系統(tǒng)。由真空管式爐、射頻電源、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成。 溫度可以達到1200度，采用30段程序溫控儀表，K型熱電偶，爐膛為高純氧化鋁陶瓷纖維,此設(shè)備可用于生長納米線或用CVD方法制備各種薄膜。
【產(chǎn)品型號】MFLPECVD408-12
【石英管徑】50/60/80/100/120/150mm
【額定溫度】1200℃/1400℃/1700℃
【電源電壓】AC220V/50Hz
【控溫精度】±1℃
一、產(chǎn)品描述
MFLPECVD408-12是一款PECVD系統(tǒng)的管式爐系統(tǒng)。由真空管式爐、射頻電源、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成。 溫度可以達到1200度，采用30段程序溫控儀表，K型熱電偶，爐膛為高純氧化鋁陶瓷纖維,此設(shè)備可用于生長納米線或用CVD方法制備各種薄膜。
二、產(chǎn)品特點
1、通過射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。
2、PECVD比普通CVD進行化學(xué)氣相沉積所需的溫度更低
3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小
4、PECVD比普通CVD進行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。
5、廣泛應(yīng)用于：各種薄膜的生長，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。
二、技術(shù)參數(shù)
設(shè)備型號 | MFLPECVD408-12 | |
管式爐 | 控溫范圍 | 室溫-1200℃ |
工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 加熱區(qū)長度 | 400mm | |
| 石英管 | 直徑 80mm，長 1400mm (管徑可選 50， 60 ，100) | |
控溫精度 | ＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃ | |
恒溫波動 | ±1℃（測試點為1000℃） | |
升溫速度 | 推薦1000度以下≤10℃/min，升溫速度≤30℃/min | |
降溫速度 | 700℃以上≤10℃/min | |
爐表溫度 | 爐體表面溫度小于室溫+10（測量點為1000℃） | |
| 測溫元件 | K型熱電偶 | |
| 控溫模式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 | |
| 電壓功率 | 220V 3KW | |
供氣系統(tǒng)
| 氣路通道 | 4路 |
| 氣路流量控制 | 質(zhì)子流量控制器（七星流量計） | |
| 控制精度 | ±1.5%F.S | |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S | |
| 流量范圍 | 1-500 SCCM | |
| 機械壓力表 | 一塊機械壓力表在面板，和混氣灌連接量程：-0.1～0.15 Mpa | |
真空系統(tǒng) 方案一（低真空：機械泵）
| 電源 | 220V |
| 極限真空度 | 5X10-1 Pa | |
| 抽氣速率 | 2升/每秒 | |
| 真空擋板閥 | KF25 | |
| 型號 | VRD-8 | |
| 電機功率 | 0.4KW | |
真空系統(tǒng) 方案二（高真空：機械泵+分子泵機組）
| 型號 | GZK-16-600 |
| 電源 | AC100-240 50/60HZ | |
| 功率 | 1KW | |
| 重量 | 25KG | |
| 極限壓強 | 1.0*10-4Pa | |
| 進、排氣接口 | KF40 | |
| 冷水機流量 | 10L/MIN | |
| 真空計 | 復(fù)合真空計 | |
| 真空控制精度 | ± 1% | |
| 真空計測量范圍 | 1.0x10 - 1.0x10-5pa | |
電源 （等離子體發(fā)生器）
| 功率輸出范圍 | 0-500W |
| 功率穩(wěn)定度 | ≤±5W | |
| 工作頻率 | 射頻：13.56MHZ±0.005% | |
| 匹配方式 | 自動 | |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷 | |
| 噪聲 | <> | |
安全 | 工作環(huán)境 | RT±5-40℃ |
使用保障 | 開門斷電 超溫報警 漏電保護 過溫保護 | |
管式爐 | 一臺 | |
出廠清單 | 真空系統(tǒng) | 一套 |
供氣系統(tǒng) | 一套 | |
射頻電源 | 一套 | |
高溫手套 | 卡斯頓一雙 | |
爐勾 | 一把 | |
氣管 | 一根 | |
設(shè)備說明書 | 一份 | |
儀表說明書 | 一份 | |
保修卡 | 一份 | |
選購品 | 移動爐架 | 不銹鋼 |
觸摸屏智能儀表 | 50段編程，可實現(xiàn)與計算機連接。通過專用的計算機控制系統(tǒng)來完成與單臺或多臺電爐的遠(yuǎn)程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。 | |
注：管徑可選：50/60/80/100/120/150/200/300 mm ,
溫區(qū)可以做雙溫區(qū)，三溫區(qū)等多溫區(qū)，
請聯(lián)系客服
設(shè)備型號 | MFLPECVD408-12 | |
管式爐 | 控溫范圍 | 室溫-1200℃ |
工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 加熱區(qū)長度 | 400mm | |
| 石英管 | 直徑 80mm，長 1400mm (管徑可選 50， 60 ，100) | |
控溫精度 | ＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃ | |
恒溫波動 | ±1℃（測試點為1000℃） | |
升溫速度 | 推薦1000度以下≤10℃/min，升溫速度≤30℃/min | |
降溫速度 | 700℃以上≤10℃/min | |
爐表溫度 | 爐體表面溫度小于室溫+10（測量點為1000℃） | |
| 測溫元件 | K型熱電偶 | |
| 控溫模式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 | |
| 電壓功率 | 220V 3KW | |
供氣系統(tǒng)
| 氣路通道 | 4路 |
| 氣路流量控制 | 質(zhì)子流量控制器（七星流量計） | |
| 控制精度 | ±1.5%F.S | |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S | |
| 流量范圍 | 1-500 SCCM | |
| 機械壓力表 | 一塊機械壓力表在面板，和混氣灌連接量程：-0.1～0.15 Mpa | |
真空系統(tǒng) 方案一（低真空：機械泵）
| 電源 | 220V |
| 極限真空度 | 5X10-1 Pa | |
| 抽氣速率 | 2升/每秒 | |
| 真空擋板閥 | KF25 | |
| 型號 | VRD-8 | |
| 電機功率 | 0.4KW | |
真空系統(tǒng) 方案二（高真空：機械泵+分子泵機組）
| 型號 | GZK-16-600 |
| 電源 | AC100-240 50/60HZ | |
| 功率 | 1KW | |
| 重量 | 25KG | |
| 極限壓強 | 1.0*10-4Pa | |
| 進、排氣接口 | KF40 | |
| 冷水機流量 | 10L/MIN | |
| 真空計 | 復(fù)合真空計 | |
| 真空控制精度 | ± 1% | |
| 真空計測量范圍 | 1.0x10 - 1.0x10-5pa | |
電源 （等離子體發(fā)生器）
| 功率輸出范圍 | 0-500W |
| 功率穩(wěn)定度 | ≤±5W | |
| 工作頻率 | 射頻：13.56MHZ±0.005% | |
| 匹配方式 | 自動 | |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷 | |
| 噪聲 | <50dB | |
安全 | 工作環(huán)境 | RT±5-40℃ |
使用保障 | 開門斷電 超溫報警 漏電保護 過溫保護 | |
管式爐 | 一臺 | |
出廠清單 | 真空系統(tǒng) | 一套 |
供氣系統(tǒng) | 一套 | |
射頻電源 | 一套 | |
高溫手套 | 卡斯頓一雙 | |
爐勾 | 一把 | |
氣管 | 一根 | |
設(shè)備說明書 | 一份 | |
儀表說明書 | 一份 | |
保修卡 | 一份 | |
選購品 | 移動爐架 | 不銹鋼 |
觸摸屏智能儀表 | 50段編程，可實現(xiàn)與計算機連接。通過專用的計算機控制系統(tǒng)來完成與單臺或多臺電爐的遠(yuǎn)程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。 | |
注：管徑可選：50/60/80/100/120/150/200/300 mm ,
溫區(qū)可以做雙溫區(qū)，三溫區(qū)等多溫區(qū)，
請聯(lián)系客服
標(biāo)配清單：
| 出廠清單 | 管式爐 | 一臺 |
| 真空系統(tǒng) | 一套 | |
| 供氣系統(tǒng) | 一套 | |
| 射頻電源 | 一套 | |
| 高溫手套 | 卡斯頓一雙 | |
| 爐勾 | 一把 | |
| 氣管 | 一根 | |
| 設(shè)備說明書 | 一份 | |
| 儀表說明書 | 一份 | |
| 保修卡 | 一份 |
可選配：
移動爐架 | 整體不銹鋼 |
7英寸觸摸屏儀表 | 50段編程， 大屏幕無紙記錄儀，實現(xiàn)對升溫曲線的實時記錄，并帶有存儲卡可對實驗數(shù)據(jù)進行分析和打印
|
一、售后服務(wù)
：一年保修，終身技術(shù)支持。（特別提示，耗材部分如加熱元件、樣品坩堝等不在保修范圍內(nèi)因使用腐蝕性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)）
二、注意事項
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
4.對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
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