CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調節(jié)可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
【產品型號】MFLCVD406-12
【石英管徑】50/60/80/100/120/150mm
【額定溫度】1200℃/1400℃/1700℃
【電源電壓】AC220V/50Hz
【控溫精度】±1℃
一、產品描述
CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調節(jié)可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
二、產品特點
1.一體式設計優(yōu)化爐體結構，節(jié)約空間
2.爐膛材料選用多晶莫來纖維材料，高溫不變形、保溫性能佳
3.雙層殼體結構，配有風冷系統(tǒng)，外殼溫度在室溫+10℃
4.智能PID控制儀表，30段可編程程序，可曲線升溫并設定溫度速率，恒溫時間控制，自動停機等
5.控溫精度高，自測1000度以內的精度±0.1℃；1000度以上±1℃
6.具有開門斷電 超溫報警 漏電保護 過溫保護
7.可選配大屏幕無紙記錄儀，實現(xiàn)對升溫曲線的實時記錄，并帶有存儲卡可對實驗數(shù)據(jù)進行分析和打印
技術參數(shù)：
設備型號 | MFLCVD406-12 | |
性能 | 控溫范圍 | 室溫-1200℃ |
工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 加熱區(qū)長度 | 400mm | |
控溫精度 | ＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃ | |
恒溫波動 | ±1℃（測試點為1000℃） | |
溫度均衡 | ±3℃（測試點為1000℃） | |
升溫速度 | 推薦1000度以下≤10℃/min，升溫速度≤30℃/min | |
降溫速度 | 700℃以上≤10℃/min | |
爐表溫度 | 爐體表面溫度小于室溫+10（測量點為1000℃） | |
構成 | 外裝 | 冷軋鋼板，表面耐藥性涂裝 |
爐體 | 陶瓷纖維 | |
傳感器 | 1200度K型熱電偶 | |
加熱元件 | HDR優(yōu)質電阻合金絲 | |
冷卻風葉 | 軸流風扇 | |
爐體結構 | 雙層殼體結構，配有風冷系統(tǒng) | |
控制器 | 控制方式 | PID控制 |
設定表示 | 數(shù)字設定/數(shù)字顯示 | |
超溫保護 | 控制器一體型 | |
超溫設定 | 數(shù)字設定 | |
運行功能 | 定制運行/程序運行（30段程序控溫） | |
附加功能 | 偏差修正、停電補償、鎖鍵功能 | |
定時器 | 1分-99小時59分以及999小時50分數(shù)字設定、自動運行、快速自動停止 | |
真空系統(tǒng) | 真空度 | 1.選配機械泵可達真空 10的-2次pa
2.選配我司高真空系統(tǒng)（機械泵+分子泵組合），可達1.33*10的-4次方pa（空爐狀態(tài)）
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隔熱管堵 | 2只，氧化鋁材料 | |
爐管 | 石英管（直徑60mm*長1000mm) | |
真空法欄 | 不銹鋼真空法蘭 | |
壓力表 | -0.1至0.15mpa | |
供氣系統(tǒng) | 質子流質計 | 量程和氣體：5-500SCCM、1-10SLM （可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） 流量控制精度 ±1.0%F.S |
路數(shù) | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） | |
接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | |
壓力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | |
安全 | 工作環(huán)境 | RT±5-40℃ |
使用保障 | 開門斷電 超溫報警 漏電保護 過溫保護 | |
規(guī)格 | 爐體結構 | 臥式 |
爐管尺寸 | Φ60mm | |
電源電壓 | 220V50HZ | |
輸入功率 | 4KW | |
出廠清單 | 管式爐 | 一臺 |
| 真空系統(tǒng) | 一套 | |
供氣系統(tǒng) | 一套 | |
高溫手套 | 卡斯頓一雙 | |
爐勾 | 一把 | |
氣管 | 一根 | |
設備說明書 | 一份 | |
儀表說明書 | 一份 | |
保修卡 | 一份 | |
選購品 | 移動爐架 | 不銹鋼 |
觸摸屏智能儀表 | 50段編程，可實現(xiàn)與計算機連接。通過專用的計算機控制系統(tǒng)來完成與單臺或多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。 | |
注：管徑可選：50/60/80/100/120/150/200/300 mm ,
溫區(qū)可以做雙溫區(qū)，三溫區(qū)等多溫區(qū)，
請聯(lián)系客服
標配清單：
| 出廠清單 | 管式爐 | 一臺 |
| 真空系統(tǒng) | 一套 | |
| 供氣系統(tǒng) | 一套 | |
| 高溫手套 | 卡斯頓一雙 | |
| 爐勾 | 一把 | |
| 氣管 | 一根 | |
| 設備說明書 | 一份 | |
| 儀表說明書 | 一份 | |
| 保修卡 | 一份 |
可選配：
移動爐架 | 整體不銹鋼 |
7英寸觸摸屏儀表 | 50段編程， 大屏幕無紙記錄儀，實現(xiàn)對升溫曲線的實時記錄，并帶有存儲卡可對實驗數(shù)據(jù)進行分析和打印
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一、售后服務
：一年保修，終身技術支持。（特別提示，耗材部分如加熱元件、樣品坩堝等不在保修范圍內因使用腐蝕性氣體造成的損害不在保修范圍內）
二、注意事項
1.爐管內氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當
4.對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
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