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微波化學氣相沉積爐(CVD)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱唐山任氏巨源微波儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地唐山市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/4/1 10:16:49
  • 訪問次數(shù)245
產品標簽:

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“唐山任氏巨源”公司目前通過外機械加工,微波材料學工作站&工業(yè)微波能高溫加熱設備的年生產能力可達2000臺套以上。公司產品功能強大,占空間小,設計美觀........ 新一代微波馬弗爐批量生產后,唐山任氏巨源微波儀器有限公司組織員工進行內部培訓,使員工充分了解產品的性能,做到對產品各種模塊和各種設備功能的熟知,努力打造一支過硬的技術團隊。......
微波馬弗爐,微波管式爐,微波井式爐,微波旋轉爐,微波化學反應器等
產品特點:1.采用純微波加熱、~傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式,可加熱包括金屬在內的任何材料,2.升溫速率快,智能控溫,可分段設置,控溫精度高,熱慣性小
微波化學氣相沉積爐(CVD) 產品信息
產品特點:
1. 采用純微波加熱
~傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式,可加熱包括金屬在內的任何材料,
2. 升溫速率快,智能控溫,可分段設置,控溫精度高,熱慣性小。此管式爐可同時加熱多個溫區(qū),且加熱區(qū)長度可調。
3. 可通各種氣氛,抽真空有機械泵、擴散泵和分子泵,可達10-3Pa真空狀態(tài)。
4、爐體采用不銹鋼密封法蘭(鉸鏈結構),耐高溫、耐腐蝕;
5、保護管采用耐高溫合金管 ,氣管采用卡套或VCR接口,安裝方便;
6、爐體配有自動冷卻風扇,降低溫度;
8、真空系統(tǒng):機械泵 擴散泵和分子泵,真空密度計
9、可通過電腦全程監(jiān)控和調試;

產品參數(shù):

型號/model WBMW-QXCJ4
可加熱材料 非易燃易爆的任何材料
微波頻率 2.45GHZ±50MHz
加熱方式 純微波加熱、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱
功率/KW 4 (功率可調)
溫度測試元件 微波場專用傳感器
控溫精度/℃ ±2
加熱管材質 石英管 高溫合金管 剛玉管
加熱溫度/℃ 1200℃ 1200℃ 1600℃
管徑(外徑/內經X長度)/mm ∅45/∅35×1200,可選配,外徑∅60mm
加熱速度() ≤200 升溫速率不限 ≤50
恒溫區(qū)長度 標配恒溫區(qū)長度100mm,恒溫去長度100mm~1000mm以上可選
溫區(qū) 可多溫區(qū)同時加熱
氣路法蘭 不銹鋼法蘭
質量流量控制 美國Alicat質量流量&控制器、七星華創(chuàng)質量流量&控制器
氣柜、氣路及各類閥門,可配套計算機自動控制系統(tǒng)及軟件
氣路數(shù)量 2路或3路(或多路)
流量范圍 0-1SLM(標準升/分,可選配)氮氣標定
精度 ±0.2%F.S
響應時間 ≤1sec
工作壓力 進氣壓力0.05-0.35Mpa(表壓力),流量規(guī)格≤10SLM
系統(tǒng)連接方式 采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀
規(guī)格 高真空
系統(tǒng)真空范圍 標準大氣壓~10-3Pa
真空泵 簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭
10-1Pa真空用高檔機械泵及真空計
10-2Pa真空用高檔機械泵、擴散泵及真空計
10-3Pa真空用高檔機械泵、分子泵及真空計
爐腔尺寸/mm 700X350X530
加熱腔(標配) 0.5-3L 2個根據(jù)管徑、加熱區(qū)長度、加熱溫區(qū)數(shù)量確定
加熱腔大小 0.94L,2.12L,3.8L
升溫速率(標配) 0~1000℃/min可根據(jù)實際任意設定,可編程、分段加熱
外型尺寸/mm 1500´750´1560
微波泄漏/ mW/㎝ ≤0.4
提供相關配件 高溫手套×1、中文說明書×1
保質期 整機免費保修1年
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