Edwards EH 機(jī)械增壓泵采用的液力驅(qū)動，可實(shí)現(xiàn)高效的動力傳送，在經(jīng)濟(jì)性、性能和緊湊性方面擁有優(yōu)勢。這些增壓泵適用于高壓力差的場合，這種高壓力差使增壓泵可以與前級泵同時啟動，從而減少總體抽氣時間
概述
EH 機(jī)械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機(jī)械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。
應(yīng)用
半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光
功能和優(yōu)勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供：
安靜的無振動運(yùn)行。
牢靠且防腐蝕。
*的軸封技術(shù)，處理艙中不會出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護(hù)要求降到。
軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是*技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。 技術(shù)參數(shù)：
EH250 EH500 EH1200 EH2600 EH4200 排量（工作容積） 310 m3h-1/ 185 ft3min-1 505 m3h-1/ 300 ft3min-1 1195 m3h-1/ 715 ft3min-1 2590 m3h-1/ 1525 ft3min-1 4140 m3h-1/ 2440 ft3min-1 使用前級泵時的有效抽速 240 m3h-1/ 141 ft3min-1 350 m3h-1/ 206 ft3min-1 840 m3h-1/ 495 ft3min-1 1750 m3h-1/ 1031 ft3min-1 3100 m3h-1/ 1825 ft3min-1 泵的壓力差 0-180 mbar/0-140 Torr 0-110 mbar/0-83 Torr 0-90 mbar/0-68 Torr 0-80 mbar/0-60 Torr 0-60 mbar / 0-45 Torr 進(jìn)氣口連接 ISO63 ISO100 ISO160 ISO160 ISO250 出口連接 ISO40 ISO63 ISO100 ISO100 ISO100 轉(zhuǎn)速 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm 連續(xù)進(jìn)氣口工作壓力 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 出口壓力 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 推薦的前級泵 GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80 GV80，E2M80 GV160、GV250、 GV250、GV400、 GV400、E2M275 E2M80、E2M175 E2M175、E2M275 電機(jī)功率 碳?xì)浠衔? 2.2 kW / 3 hp 2.2 kW/3 hp 3 kW/4 hp 11 kW/15 hp 11 kW/15 hp PFPE 1.5 kW / 2 hp 1.5 kW/2 hp 3 kW/4 hp 7.5 kW/10 hp 11 kW/15 hp ATEX 2.2 kW 2.2 kW 3 kW 11 kW 11 kW 防爆 3 hp 3 hp 4 hp 15 hp 15 hp 環(huán)境溫度范圍 工作 5至40°C/40至104°F 5至40°C/40至104°F 5至40°C/40至104°F 5至40°C/40至104°F 5至40°C/40至104°F 存儲 -10至80°C/14至176°F -10至80°C/14至176°F -10至80°C/14至176°F -10至80°C/14至176°F -10至80°C/14至176°F 工作濕度 90% RH 90% RH 90% RH 90% RH 90% RH 推薦用油 Ultragrade 20 Ultragrade 20 Ultragrade 20 Ultragrade 20 Ultragrade 20 油容量 齒輪箱 1.25 l/1.3 qt 3.5 l/3.3 qt 3.5 l/3.3 qt 聯(lián)軸器蓋 1.5 l/1.6 qt 1.5 l/1.6 qt 1.5 l/1.6 qt 6.5 l/7 qt 6.5 l/7 qt 軸封儲油器 0.125 l/0.25 qt 0.125 l/0.25 qt 0.125 l/0.25 qt 1.5 l/1.4 qt 1.5 l/1.4 qt 重量 61 kg/134 lb 74 kg/163 lb 74 kg/163 lb 308 kg/679 lb
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